HFCVD0606

D'Vakuumbeschichtungskammer vun der chemescher Dampdepositiounsausrüstung adoptéiert eng onofhängeg duebelschicht Waasserkühlstruktur, déi effizient an eenheetlech an der Ofkillung ass, an eng sécher a stabil Struktur huet.D'Ausrüstung ass mat duebel Dieren entworf, Multiple Observatioun Fënsteren a Multiple Expansioun Schnëttplazen, déi praktesch ass fir extern Verbindung vun Hëllef Peripheriegeräter wéi Infraroutstrahlung Temperatur Messung, Spektralanalyse, Video Iwwerwachung an thermocouple.Déi fortgeschratt Designkonzept mécht den alldeegleche Revisioun an Ënnerhalt, Konfiguratiounsännerung an Upgrade vun der Ausrüstung einfach an einfach, a reduzéiert effektiv d'Benotzung an d'Aktualiséierungskäschte.

Equipement Fonctiounen:

1.D'Inflatiounskomponenten vun der Ausrüstung enthalen haaptsächlech Massestroummeter, Solenoidventil a Gasmëschbehälter, déi d'genaue Kontroll vum Prozessgasfloss, eenheetlech Vermëschung a sécher Isolatioun vu verschiddene Gase garantéieren, a kënne Gassystemkomponente fir d'Benotzung vun auswielen. Flësseggasquell, erliichtert d'personaliséiert Auswiel vun enger breeder Palette vu flëssege Kuelestoffquellen, an déi sécher Notzung vu syntheteschen konduktiven Diamanten an Elektroden Flëssegborquellen.
2.The Loftextraktioun Assemblée ass mat enger roueger an efficace Rotary Vane Vakuum Pompel an engem turbo molekulare Pompel System equipéiert, datt séier der héich Vakuum Hannergrond Ëmwelt treffen kann.D'Komposit Vakuum Jauge mat Resistenz Jauge an Ioniséierung Jauge gëtt fir Vakuum Miessung benotzt, wéi och de capacitive Film Jauge System deen den Drock vu verschiddene Prozess Gase an enger breet Palette moossen kann.Den Oflagerungsdrock ass voll automatesch kontrolléiert duerch héich Präzisioun proportional Kontrollventil.
3.D'Kältewaasserkomponent ass mat Multi-Channel Waasserdrock, Flow, Temperaturmessung a Software automatesch Iwwerwaachung ausgestatt.Verschidde Killkomponenten sinn onofhängeg vuneneen, wat bequem ass fir séier Feelerdiagnos.All Filialen hunn onofhängeg Ventilschalter, wat sécher an effizient ass.
4.The elektresch Kontroll Komponente adoptéieren grouss-Gréisst Mann-Maschinn Interface LCD Écran a kooperéieren mat PLC voll-automatesch Kontroll der Redaktioun an Import vun Prozess Formel ze erliichteren.Déi grafesch Curve weist visuell d'Ännerungen a Wäerter vu verschiddene Parameteren, an d'Ausrüstung an d'Prozessparameter ginn automatesch opgeholl an archivéiert fir Problem Tracing an Daten statistesch Analyse ze erliichteren.
5.The workpiece Rack ass mat engem Servo-Motor ausgestatt fir d'Erhiewung an d'Ofsenkung vun der Substrattabelle ze kontrolléieren.De Grafit oder roude Kupfer Substrat Dësch kann ausgewielt ginn.D'Temperatur gëtt vun engem Thermoelement gemooss.
6.The Rack Komponente kënnen als Ganzt oder getrennt entworf ginn no Client Ufuerderunge fir d'speziell Ëmgank Ufuerderunge vun Clienten ze treffen.
7.D'Dichtungsplackkomponenten sinn schéin an elegant.D'Dichtungsplacken a verschiddene funktionnelle Modulberäicher vun der Ausrüstung kënne séier ofgebaut ginn oder onofhängeg opgemaach an zougemaach ginn, wat ganz bequem ze benotzen ass.

Hot Filament CVD Ausrüstung ass gëeegent fir Diamantmaterialien ze deponéieren, dorënner dënn Filmbeschichtung, selbststänneg décke Film, mikrokristallin an nanokristallin Diamant, konduktiv Diamant, asw. wéi Silizium a Siliziumkarbid, Wärmevergëftungsbeschichtung vun Apparater, bor-dotéierte konduktiven Diamantelektrode, Ozon Desinfektioun vum elektrolytesche Waasser oder Kläranlag.