1) Zylindresch Ziler hunn méi héijer Notzungsquote wéi planar Ziler.Am Beschichtungsprozess, egal ob et e Rotary Magnéit Typ oder e Rotary Röhre Typ zylindrescht Sputtering Zil ass, passéieren all Deeler vun der Uewerfläch vum Zil Röhre kontinuéierlech duerch d'Sputtergebitt generéiert virun der Permanent Magnéit fir d'Kathode Sputtering ze kréien, an de Beschichtungsprozess. Zil kann eenheetlech sputtered etched ginn, an der Zilbenotzen Taux ass héich.D'Benotzungsquote vun Zilmaterialien ass ongeféier 80% ~ 90%.
2) Zylindresch Ziler wäerten net einfach "Zilvergëftung" produzéieren.Wärend dem Beschichtungsprozess gëtt d'Uewerfläch vum Zilröhre ëmmer vun Ionen gesputtert an geätzt, an et ass net einfach déck Oxiden an aner Isoléierfilmer op der Uewerfläch ze sammelen, an et ass net einfach "Zielvergëftung" ze produzéieren.
3) D'Struktur vum Rotary Zil-Röhre Typ zylindresch Sputtering Zil ass einfach an einfach ze installéieren.
4) D'zylindresch Zil-Röhre Material huet verschidden Zorte.planar Zil mat Metall Zil direkt Waasser Ofkillung, an e puer kënnen net veraarbecht ginn a geformt zylindresch Ziler, wéi In2-SnO2 Zil, etc. grouss, a brécheg, also ass et néideg brazing Method a Koffer backplate ze benotzen fir z'integréieren an dann op der Zilbasis z'installéieren.Zousätzlech zu Metallleitungen kënnen och Kolumnziler op der Uewerfläch vun Edelstahlleitungen mat verschiddene Materialien gesprëtzt ginn, déi musse beschichtet ginn, wéi Si, Cr, etc.
Am Moment ass den Undeel vun zylindreschen Ziler fir Beschichtung an der industrieller Produktioun erop.Zylindresch Ziler benotzen net nëmme fir déi vertikal Beschichtungsmaschinn, awer och an der Roll-to-Roll-Beschichtungsmaschinn.An de leschte Jore sinn déi planar Zwillingsziler no an no duerch d'Zylindresch Zwillingsziler ersat.
——Den Artikel gouf vum Guangdong Zhenhua Technology, aFabrikant vun opteschen Beschichtungsmaschinnen.
Post Zäit: Mee-11-2023