1.Characteristics vun Arc Liichtjoer Elektronen Flux
D'Dicht vum Elektronefluss, Ionenfloss an héijen Energie neutralen Atomer am Bogenplasma generéiert duerch Bogentladung ass vill méi héich wéi déi vun der Glühfluss.Et gi méi Gasionen a Metallionen ioniséiert, opgereegt héich-Energie Atomer, a verschidde aktiv Gruppen am Beschichtungsraum, déi eng wichteg Roll spillen an der Heizung, Botzen a Beschichtungsstadien vum Beschichtungsprozess.D'Aktiounsform vum Bogenelektronenfloss ass anescht wéi déi vum Ionstrahl, déi net all an e "Strahlen" konvergéieren, awer meeschtens an engem divergente Staat, sou datt et Bouelektronenfloss genannt gëtt.Well Bogenelektronen an d'Anode fléien, gëtt de Bogenelektronenfloss riicht iwwerall wou d'positiv Elektrode vun der Bogenstroumversuergung ugeschloss ass, an d'Anode kann e Werkstück, Hilfsanode, Crucible, asw.
2.Method vun generéieren Arc Elektronen Flux
(1) D'Gasquell generéiert Bogenelektronenfluss: de Bogenstroum vun der Huel Kathode-Arc-Entladung a waarme Drot-Arc-Entladung kann ongeféier 200A erreechen, an d'Bouspannung ass 50-70V.
(2) Solid Quell generéiert Arc Elektronen Flux: Cathode Arc Quell, dorënner kleng Arc Quell, zylindresch Arc Quell, véiereckege Fliger grouss Arc Quell, etc. 18-25 V.
D'High-Dicht an niddereg-Energie Bogen Elektronen Flux an zwou Zorte vun Bogen Offlossquantitéit Plasma kann intensiv Kollisioun Ioniséierung mat Gas a Metal Film Atomer generéieren, méi Gasione, Metal Ionen, a verschidden héich-energesch aktiv Atomer a Gruppen kréien, doduerch verbesseren d'Gesamtaktivitéit vun de Filmschichtionen.
-Den Artikel gouf vum Guangdong Zhenhua, aVakuumbeschichtungsmaschinn Hiersteller
Post Zäit: Mee-31-2023