Plasma direkten Polymeriséierungsprozess
De Prozess vu Plasma Polymeriséierung ass relativ einfach fir béid intern Elektroden Polymeriséierungsausrüstung an extern Elektroden Polymeriséierungsausrüstung, awer d'Parameterauswiel ass méi wichteg an der Plasma Polymeriséierung, well Parameteren e méi groussen Impakt op d'Struktur an d'Leeschtung vu Polymerfilmer wärend der Plasma Polymeriséierung hunn.
D'Operatiounsschrëtt fir direkt Plasmapolymeriséierung sinn wéi follegt:
(1) Staubsauger
Den Hannergrond Vakuum vun der Polymeriséierung ënner Vakuumbedéngungen soll op 1,3 × 10-1Pa gepompelt ginn.Fir Polymeriséierungsreaktiounen déi speziell Ufuerderunge erfuerderen fir Sauerstoff- oder Stickstoffgehalt ze kontrolléieren, ass den Hannergrond Vakuumfuerderung nach méi héich.
(2) Charge Reaktioun Monomer oder gemëscht Gas vun Trägergas a Monomer
De Vakuumgrad ass 13-130Pa.Fir Plasma Polymeriséierung, déi Aarbecht erfuerdert, muss de passende Flowkontrollmodus a Flowrate ausgewielt ginn, allgemeng 10.100mL / min.Am Plasma gi Monomermoleküle ioniséiert an dissoziéiert duerch Bombardement vun energesche Partikelen, wat zu aktive Partikelen wéi Ionen an aktive Genen resultéiert.Déi aktiv Partikelen, déi vu Plasma aktivéiert sinn, kënne Plasmapolymeriséierung op der Interface vu Gasphase a Festphase erliewen.De Monomer ass d'Quell vum Virgänger fir Plasma Polymeriséierung, an den Inputreaktiounsgas a Monomer solle gewësse Rengheet hunn.
(3) Auswiel vun excitation Muecht Fourniture
Plasma ka generéiert ginn mat DC, Héichfrequenz, RF oder Mikrowellenkraaftquellen fir e Plasma Ëmfeld fir Polymeriséierung ze bidden.D'Auswiel vun der Energieversuergung gëtt bestëmmt op Basis vun den Ufuerderunge fir d'Struktur an d'Leeschtung vum Polymer.
(4) Auswiel vun Offlossquantitéit Modus
Fir Polymer Ufuerderunge kann d'Plasmapolymeriséierung zwee Entladungsmodi wielen: kontinuéierlech Entladung oder Pulsaustausch.
(5) Auswiel vun Offlossquantitéit Parameteren
Wann Dir Plasma Polymeriséierung duerchféiert, mussen d'Entladungsparameter vu Plasmaparameter, Polymereigenschaften a Strukturfuerderunge berücksichtegt ginn.D'Gréisst vun der ugewandter Kraaft während der Polymeriséierung gëtt vum Volume vun der Vakuumkammer, Elektrodengréisst, Monomerflowrate a Struktur, Polymeriséierungsquote a Polymerstruktur a Leeschtung festgeluegt.Zum Beispill, wann d'Reaktiounskammervolumen 1L ass an d'RF Plasma Polymeriséierung ugeholl gëtt, wäert d'Entladungskraaft am Beräich vun 10 ~ 30W sinn.Ënner esou Bedéngungen kann de generéierte Plasma aggregéiert ginn fir en dënnen Film op der Uewerfläch vum Werkstéck ze bilden.De Wuesstumsrate vum Plasma Polymeriséierungsfilm variéiert mat Stroumversuergung, Monomertyp a Flowrate, a Prozessbedéngungen.Allgemeng ass de Wuesstumsrate 100nm/min ~ 1um/min.
(6) Parametermessung an der Plasmapolymeriséierung
D'Plasmaparameter a Prozessparameter, déi an der Plasmapolymeriséierung gemooss ginn, enthalen: Entladungsspannung, Entladungsstroum, Entladungsfrequenz, Elektronentemperatur, Dicht, Reaktiounsgrupptyp a Konzentratioun, asw.
——Den Artikel gouf vum Guangdong Zhenhua Technology, aFabrikant vun opteschen Beschichtungsmaschinnen.
Post Zäit: Mee-05-2023