De Prozess vun der Huel Kathode Ionbeschichtung ass wéi follegt:
1, Setzt Chin Ingots am Zesummebroch.
2, Montéierung vum Werkstéck.
3、 Nom Evakuéierung op 5 × 10-3Pa gëtt Argongas an d'Beschichtungskammer aus dem Sëlwerröhr agefouert, an de Vakuumniveau ass ongeféier 100Pa.
4, Schalt d'Virauskraaft un.
5、Nodeems d'Boukraaft ageschalt ass fir d'huel Kathode-Entladung z'entléen. D'Glüh-Entladung gëtt am Knäppercher generéiert, d'Entladungsspannung ass 800 ~ 1000V, De Bogenerhéigungsstroum ass 30 ~ 50A.Due to the hollow cathode effect of light Entladung, Héich Glüh-Entladungsstroumdicht, Déi héich Dicht vu Rationen am Sëlwerröhre bombardéiert d'Mauer vum Vantage Rouer, Maacht d'Röhremauer séier op d'Emissioun vum Elektronenfloss, den Entladungsmodus vun der Glühentladung plötzlech Ännerung op Bogentladung, Spannung ass 40 ~ 70V, Stroum ass 80 ~ 300A. Sëlwer Röhretemperatur erreecht iwwer 2300K, Glühwäin, Emittéiert eng Héichdichtstroum vu Bogenelektronen aus der Röhre, a schéisst op d'Anode.
6、Upassung vum Vakuumniveau.De Vakuumniveau fir Glühfrëndung vun der Huel Kathodepistoul ass ongeféier 100 Pa, An de Vakuumgrad vun der Beschichtung ass 8 × 10-1 ~ 2Pa. Gas sou séier wéi méiglech, Upasst de Vakuumniveau op eng Rei gëeegent fir Beschichtung.
7, Titan plated Basis Layer.Elektron Flux op der anodically zesummegefall Chin Metal ingot, Konversioun vun kinetescher Energie zu thermesch Energie, Verdampfung vun Chin Metal duerch Heizung, Damp Atomer erreechen d'workpiece engem Titan Film ze Form.
8、Oflagerung vun TiN.Stickstoffgas gëtt an d'Beschichtungskammer geliwwert, Stickstoffgas a verdampte Atomer ginn an Stickstoff- a Titan-Ionen ioniséiert. Iwwert der Crucible, Héich Wahrscheinlechkeet vun inelastesche Kollisiounen vun Titandampatome mat dichte Stréim vun niddereg-Energie Elektronen, D'Metalldissoziatiounsquote ass sou héich wéi 20% ~ 40%., Titan Ionen si méi wahrscheinlech chemesch mam Reaktiounsgas Stickstoff ze reagéieren, Oflagerung fir eng Nitridmantelfilmschicht ze kréien. vun der Ioniséierung.Während der Beschichtung soll och de Stroum vun der elektromagnéitescher Spule ronderëm d'Kraaft ugepasst ginn,Den Elektronenstrahl op d'Mëtt vum Zesummebroch konzentréieren,Domat gëtt d'Kraaftdicht vum Elektronenfloss erhéicht.
9、Power Off.No der Filmdicke erreecht déi virbestëmmte Filmdicke, Schalt d'Arc Energieversuergung aus、Bias Energieversuergung a Loftversuergung.
Post Zäit: Jul-08-2023