De Prozess vun der kathodescher Bouquelle Ionbeschichtung ass am Fong d'selwecht wéi aner Beschichtungstechnologien, an e puer Operatiounen wéi d'Installatioun vun Werkstécker a Staubsauger ginn net méi widderholl.
1.Bombardement Botzen vun workpieces
Virun der Beschichtung gëtt Argongas an d'Beschichtungskammer mat engem Vakuum vun 2 × 10-2Pa agefouert.
Maacht d'Pulsbias-Energieversuergung un, mat engem Duty-Zyklus vun 20% an engem Werkstück-Bas vun 800-1000V.
Wann d'Boukraaft ageschalt ass, gëtt e kale Feldbogenlichtentladung generéiert, deen eng grouss Quantitéit un Elektronenstroum an Titanionstroum aus der Bogenquell emittéiert, an e Plasma mat héijer Dicht bilden.D'Titanion beschleunegt seng Injektioun an d'Werkstéck ënner dem negativen héije Biasdrock, deen op d'Werkstéck applizéiert gëtt, bombardéiert a sputtert de Reschtgas an d'Verschmotzung, déi op der Uewerfläch vum Werkstück adsorbéiert sinn, an d'Uewerfläch vum Werkstück ze botzen an ze purifizéieren;Zur selwechter Zäit gëtt de Chlorgas an der Beschichtungskammer vun Elektronen ioniséiert, an Argonionen beschleunegen d'Bombardement vun der Werkstéckfläch.
Dofir ass de Bombardementreinigungseffekt gutt.Nëmmen ongeféier 1 Minutt Bombardement Botzen kann d'Werkstéck botzen, wat "Main Arc Bombardement" genannt gëtt.Wéinst der héijer Mass vun Titan-Ionen, wann eng kleng Bouquelle benotzt gëtt fir d'Werkstéck ze laang ze bombardéieren an ze botzen, ass d'Temperatur vum Werkstéck ufälleg fir ze iwwerhëtzen, an d'Toolrand kann mëll ginn.Am Allgemengen Produktioun, sinn kleng Arc Quellen eent vun eent vun uewe bis ënnen op, an all kleng Arc Quell huet eng Bombardement Botzen Zäit vun ongeféier 1 Minutt.
（1） Beschichtete Titan ënnen Schicht
Fir d'Haftung tëscht dem Film an dem Substrat ze verbesseren, gëtt eng Schicht vu purem Titansubstrat normalerweis virum Titannitrid beschichtet.Ajustéiert de Vakuumniveau op 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, passt d'Werkstéck Virausspannung op 400-500V un, a passt den Duty Cycle vun der Pulsbias Energieversuergung op 40% ~ 50%.Nach igniting kleng Arc Quellen eent vun eent fir eng Generéiere kal Feld arcing Offlossquantitéit.Wéinst der Ofsenkung vun der negativer Viraussetzungsspannung vum Werkstéck fällt d'Energie vun Titanionen erof.Nom Erreeche vum Werkstéck ass de Sputtereffekt manner wéi den Oflagerungseffekt, an eng Titan Iwwergangsschicht gëtt um Werkstück geformt fir d'Bindungskraaft tëscht der Titannitrid-Hardfilmschicht an dem Substrat ze verbesseren.Dëse Prozess ass och de Prozess vun der Heizung vum Werkstück.Wann de pure Titan Zil entlooss gëtt, ass d'Liicht am Plasma azurblau.
1.Ammoniated Schossel schwéier Film Beschichtung
Ajustéiert de Vakuumgrad op 3 × 10-1-5Pa, passt d'Werkstéck Viraussetzungsspannung op 100-200V un, a passt den Duty Cycle vun der Pulsbias Energieversuergung op 70% ~ 80%.Nodeems Stickstoff agefouert gëtt, ass Titan eng Kombinatiounsreaktioun mam Bogentladungsplasma fir Titannitrid haarde Film ze deposéieren.Zu dësem Zäitpunkt ass d'Liicht vum Plasma an der Vakuumkammer Kiischte rout.Wann C2H2, O2, etc ginn agefouert, TiCN, TiO2, etc.. Filmschichten kënne kritt ginn.
-Den Artikel gouf vum Guangdong Zhenhua, aVakuumbeschichtungsmaschinn Hiersteller
Post Zäit: Jun-01-2023