Composite Beschichtung Ausrüstung vu Magnetron Sputtering a kathodescher Multi-Arc Ionbeschichtung kann separat a gläichzäiteg funktionnéieren;kann reng Metallfilm, Metallverbindungsfilm oder Kompositfilm deposéiert a virbereet ginn;kann eng eenzeg Schicht vum Film an e Multi-Layer Composite Film sinn.
Seng Virdeeler wéi follegt:
Et kombinéiert net nëmmen d'Virdeeler vun verschiddenen Ionbeschichtungen a berücksichtegt d'Virbereedung an d'Oflagerung vum dënnen Film fir verschidde Applikatiounsberäicher, awer erlaabt och d'Depositioun an d'Virbereedung vu Multi-Layer monolithesche Filmer oder Multi-Layer Composite Filmer am selwechte Vakuum Beschichtungskammer gläichzäiteg.
D'Applikatioune vun deposéierte Filmschichten gi wäit benotzt, seng Technologien sinn a verschiddene Formen, déi typesch wéi follegt:
(1) D'Verbindung vun Net-Gläichgewiicht Magnetron Sputtering a kathodescher Ionbeschichtungstechnologie.
Säin Apparat gëtt wéi follegt gewisen.Et ass eng Compoundbeschichtungsausrüstung vu Kolumnare Magnetron Zil a planarer kathodescher Bogenionbeschichtung, déi gëeegent ass fir béid Toolbeschichtungsverbindungsfilm an dekorativ Filmbeschichtung.Fir Toolbeschichtung gëtt d'kathodesch Bogenionbeschichtung als éischt fir d'Basisschichtbeschichtung benotzt, an dann gëtt d'Kolonnmagnetronziel fir d'Oflagerung vun Nitrid an aner Filmschichten benotzt fir en héichpräzis Veraarbechtungsinstrument Uewerflächfilm ze kréien.
Fir dekorativ Beschichtung kënnen TiN an ZrN Dekoratiounsfilmer als éischt duerch kathodesch Bogenbeschichtung deposéiert ginn, an dann mat Metall mat Hëllef vu Magnetronziler dotéiert ginn, an den Dopingeffekt ass ganz gutt.
(2) D'Verbindung vun Zwillingsfläche Magnetron a Kolonnkathode Arc Ion Beschichtungstechniken.Den Apparat gëtt wéi follegt gewisen.Et gëtt déi fortgeschratt Zwilling Zil Technologie benotzt, wann zwee Säit-vun-Säit Zwillingsziler verbonne mat der mëttelfrequenz Energieversuergung, et iwwerwannt net nëmmen d'Zilvergëftung vun DC Sputtering, Feier an aner Nodeeler;a kann Al203, SiO2 Oxid Qualitéit Film deposéieren, sou datt d'Oxidatiounsresistenz vun de beschichteten Deeler erhéicht a verbessert huet.Columnar Multi-Arc Zil am Zentrum vun der Vakuum Chamber installéiert, kann d'Zil Material Ti an Zr benotzt ginn, net nëmmen d'Virdeeler vun héich Multi-Arc Dissoziatioun Taux, Oflagerung Taux ze erhalen, mä kann och effektiv reduzéieren "Drëpsen" an de Prozess vu klenge Fliger Multi-Arc Zil Oflagerung, kann eng niddereg porosity vun Metal Filmer deposéieren a preparéieren, Verbindung Filmer.Wann Al a Si als Zilmaterial fir déi Zwillingplanar Magnetronziler benotzt ginn, déi an der Peripherie installéiert sinn, kënnen Al203 oder Si0 Metallkeramikfilmer deposéiert a virbereet ginn.Zousätzlech kënnen e puer kleng Fligeren vu Multi-Arc Verdampfungsquell op der Peripherie installéiert ginn, a säi Zilmaterial kann Cr oder Ni sinn, a Metallfilmer a Multilayer Kompositfilmer kënnen deposéiert a virbereet ginn.Dofir ass dës Kompositbeschichtungstechnologie eng Kompositbeschichtungstechnologie mat multiple Uwendungen.
Post Zäit: Nov-08-2022