ຄໍາແນະນໍາກ່ຽວກັບເຕັກນິກແບບດັ້ງເດີມສໍາລັບການຝາກເງິນເຄືອບແຂງ

1. ເຕັກໂນໂລຊີ CVD ຄວາມຮ້ອນ

ການເຄືອບແຂງແມ່ນສ່ວນຫຼາຍແມ່ນເຄື່ອງເຄືອບເຊລາມິກໂລຫະ (TiN, ແລະອື່ນໆ), ທີ່ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໂດຍປະຕິກິລິຍາຂອງໂລຫະໃນການເຄືອບແລະ reactive gasification.ໃນຕອນທໍາອິດ, ເທກໂນໂລຍີ CVD ຄວາມຮ້ອນໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອໃຫ້ພະລັງງານກະຕຸ້ນຂອງປະຕິກິລິຍາປະສົມປະສານໂດຍພະລັງງານຄວາມຮ້ອນທີ່ອຸນຫະພູມສູງຂອງ 1000 ℃.ອຸນຫະພູມນີ້ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການຝາກ TiN ແລະການເຄືອບແຂງອື່ນໆໃສ່ເຄື່ອງມືຊີມັງ carbide.ມາຮອດປະຈຸ, ມັນຍັງເປັນເທກໂນໂລຍີທີ່ສໍາຄັນທີ່ຈະຝາກເຄື່ອງເຄືອບ TiN-Al20 ໃສ່ຫົວເຄື່ອງມືຊີມັງ carbide.

2. ການເຄືອບ ion cathode hollow ແລະສາຍຮ້ອນ arc ion coating

ໃນຊຸມປີ 1980, ການເຄືອບ ion cathode hollow ແລະສາຍຮ້ອນ arc ion coating ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຝາກເຄື່ອງມືຕັດເຄືອບ.ເທັກໂນໂລຍີການເຄືອບ ion ທັງສອງອັນນີ້ແມ່ນເທັກໂນໂລຍີການເຄືອບ ion ການໄຫຼອອກຂອງອາກ, ທີ່ມີອັດຕາການ ionization ໂລຫະສູງເຖິງ 20% ~ 40%.

3. ການເຄືອບ Cathode arc ion

ການປະກົດຕົວຂອງການເຄືອບ ion cathodic arc ໄດ້ນໍາໄປສູ່ການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີຂອງການຝາກເຄືອບແຂງໃສ່ molds.ອັດຕາການ ionization ຂອງການເຄືອບ cathodic arc ion ແມ່ນ 60% ~ 90%, ອະນຸຍາດໃຫ້ຈໍານວນຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງ ions ໂລຫະແລະ ions ອາຍແກັສຕິກິຣິຍາສາມາດບັນລຸຫນ້າດິນຂອງ workpiece ໄດ້ແລະຍັງຮັກສາກິດຈະກໍາສູງ, ສົ່ງຜົນໃຫ້ເກີດປະຕິກິລິຢາ deposition ແລະການສ້າງຂອງເຄືອບແຂງເຊັ່ນ: TiN.ໃນປັດຈຸບັນ, ເທກໂນໂລຍີການເຄືອບ cathodic arc ion ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອຝາກການເຄືອບແຂງໃສ່ແມ່ພິມ.

ແຫຼ່ງຂອງ arc cathode ເປັນແຫຼ່ງ evaporation ຂອງລັດແຂງໂດຍບໍ່ມີການສະນຸກເກີ molten ຄົງ, ແລະຕໍາແຫນ່ງແຫຼ່ງ arc ສາມາດໄດ້ຮັບການວາງ arbitrarily, ການປັບປຸງອັດຕາການນໍາໃຊ້ພື້ນທີ່ຂອງຫ້ອງເຄືອບແລະການເພີ່ມຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດ furnace ໄດ້.ຮູບຮ່າງຂອງແຫຼ່ງ cathode arc ປະກອບມີແຫຼ່ງ cathode ວົງມົນຂະຫນາດນ້ອຍ, ແຫຼ່ງ arc columnar, ແລະແຫຼ່ງ arc ແປຂະຫນາດໃຫຍ່.ອົງປະກອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງແຫຼ່ງ arc ຂະຫນາດນ້ອຍ, ແຫຼ່ງ arc columnar, ແລະແຫຼ່ງ arc ຂະຫນາດໃຫຍ່ສາມາດຈັດລຽງແຍກຕ່າງຫາກເພື່ອຝາກຮູບເງົາຫຼາຍຊັ້ນແລະ nano multilayer films.ໃນຂະນະດຽວກັນ, ເນື່ອງຈາກອັດຕາການ ionization ໂລຫະສູງຂອງການເຄືອບ ion cathodic arc, ions ໂລຫະສາມາດດູດຊຶມທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຢາຫຼາຍ, ຜົນໄດ້ຮັບໃນຂະບວນການກ້ວາງແລະການດໍາເນີນງານງ່າຍດາຍເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຮັບການເຄືອບແຂງທີ່ດີເລີດ.ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ມີ droplets ຫຍາບຢູ່ໃນຈຸນລະພາກຂອງຊັ້ນເຄືອບທີ່ໄດ້ຮັບໂດຍການເຄືອບ cathodic arc ion.ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ເຕັກໂນໂລຢີໃຫມ່ຈໍານວນຫຼາຍໄດ້ເກີດຂື້ນເພື່ອປັບປຸງໂຄງສ້າງຂອງຊັ້ນຮູບເງົາ, ເຊິ່ງໄດ້ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາເຄືອບ arc ion.

—— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເປີດເຜີຍໂດຍ Guangdong Zhenhua Technology, aຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບ optical.