ຂະບວນການ polymerization ໂດຍກົງ plasma

ຂະບວນການ polymerization ໂດຍກົງ plasma

ຂະບວນການຂອງ Plasma polymerization ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງງ່າຍດາຍສໍາລັບທັງອຸປະກອນ polymerization electrode ພາຍໃນແລະອຸປະກອນ polymerization electrode ພາຍນອກ, ແຕ່ການເລືອກພາລາມິເຕີແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນກວ່າໃນ Plasma polymerization, ເນື່ອງຈາກວ່າພາລາມິເຕີມີຜົນກະທົບຫຼາຍຕໍ່ໂຄງສ້າງແລະການປະຕິບັດຂອງຮູບເງົາໂພລີເມີໃນລະຫວ່າງ Plasma polymerization.

ຂັ້ນຕອນການດໍາເນີນງານສໍາລັບ plasma polymerization ໂດຍກົງແມ່ນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

(1) ການດູດຝຸ່ນ

ພື້ນທີ່ສູນຍາກາດຂອງໂພລິເມີຣີຊີຊັນ ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດຄວນຖືກສູບເປັນ 1.3×10-1Pa.ສໍາລັບປະຕິກິລິຍາ polymerization ທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການພິເສດສໍາລັບການຄວບຄຸມອົກຊີເຈນຫຼືໄນໂຕຣເຈນ, ຄວາມຕ້ອງການສູນຍາກາດພື້ນຫລັງແມ່ນສູງກວ່າ.

(2) ສາກປະຕິກິລິຢາ monomer ຫຼືອາຍແກັສປະສົມຂອງອາຍແກັສຂົນສົ່ງແລະ monomer

ລະດັບສູນຍາກາດແມ່ນ 13-130Pa.ສໍາລັບ plasma polymerization ທີ່ຕ້ອງການການເຮັດວຽກ, ຮູບແບບການຄວບຄຸມການໄຫຼທີ່ເຫມາະສົມແລະອັດຕາການໄຫຼຈະຖືກເລືອກ, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ 10.100mL / ນາທີ.ໃນ plasma, ໂມເລກຸນ monomer ແມ່ນ ionized ແລະ dissociated ໂດຍ bombardment ຂອງ particles ແຂງແຮງ, ສົ່ງຜົນໃຫ້ particles active ເຊັ່ນ ions ແລະ genes ການເຄື່ອນໄຫວ.ອະນຸພາກທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ activated ໂດຍ plasma ສາມາດຜ່ານ plasma polymerization ໃນການໂຕ້ຕອບຂອງໄລຍະອາຍແກັສແລະໄລຍະແຂງ.monomer ແມ່ນແຫຼ່ງຂອງຄາຣະວາສໍາລັບ plasma polymerization, ແລະອາຍແກັສຕິກິຣິຍາທີ່ປ້ອນເຂົ້າແລະ monomer ຈະມີຄວາມບໍລິສຸດທີ່ແນ່ນອນ.

(3) ການຄັດເລືອກການສະຫນອງພະລັງງານ excitation

Plasma ສາມາດຜະລິດໄດ້ໂດຍໃຊ້ DC, ຄວາມຖີ່ສູງ, RF, ຫຼືແຫຼ່ງພະລັງງານໄມໂຄເວຟເພື່ອສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມ plasma ສໍາລັບໂພລິເມີ.ການຄັດເລືອກການສະຫນອງພະລັງງານແມ່ນຖືກກໍານົດໂດຍອີງໃສ່ຄວາມຕ້ອງການຂອງໂຄງສ້າງແລະການປະຕິບັດຂອງໂພລີເມີ.

(4) ການເລືອກຮູບແບບການໄຫຼ

ສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການໂພລີເມີ, plasma polymerization ສາມາດເລືອກສອງຮູບແບບການໄຫຼ: ການໄຫຼຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຫຼືການໄຫຼຂອງກໍາມະຈອນ.

(5) ການເລືອກຕົວກໍານົດການໄຫຼ

ໃນເວລາທີ່ດໍາເນີນການ plasma polymerization, ຕົວກໍານົດການໄຫຼຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ພິຈາລະນາຈາກຕົວກໍານົດການ plasma, ຄຸນສົມບັດໂພລີເມີແລະຄວາມຕ້ອງການໂຄງສ້າງ.ຂະຫນາດຂອງພະລັງງານທີ່ນໍາໃຊ້ໃນລະຫວ່າງການໂພລິເມີແມ່ນຖືກກໍານົດໂດຍປະລິມານຂອງຫ້ອງສູນຍາກາດ, ຂະຫນາດ electrode, ອັດຕາການໄຫຼຂອງ monomer ແລະໂຄງສ້າງ, ອັດຕາໂພລີເມີ, ແລະໂຄງສ້າງໂພລີເມີແລະປະສິດທິພາບ.ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ຖ້າປະລິມານຂອງຫ້ອງຕິກິຣິຍາແມ່ນ 1L ແລະ RF Plasma polymerization ໄດ້ຖືກຮັບຮອງເອົາ, ພະລັງງານໄຫຼຈະຢູ່ໃນລະດັບຂອງ 10 ~ 30W.ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂດັ່ງກ່າວ, plasma ທີ່ຜະລິດສາມາດລວບລວມເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາບາງໆຢູ່ເທິງຫນ້າວຽກ.ອັດຕາການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຮູບເງົາ plasma polymerization ແຕກຕ່າງກັນກັບການສະຫນອງພະລັງງານ, ປະເພດ monomer ແລະອັດຕາການໄຫຼ, ແລະເງື່ອນໄຂຂະບວນການ.ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ອັດຕາການເຕີບໂຕແມ່ນ 100nm / min ~ 1um / min.

(6) ການວັດແທກພາລາມິເຕີໃນ plasma polymerization

ຕົວກໍານົດການ plasma ແລະຕົວກໍານົດການຂະບວນການທີ່ຈະວັດແທກໃນ plasma polymerization ປະກອບມີ: ແຮງດັນໄຟຟ້າ, ກະແສໄຟຟ້າໄຫຼ, ຄວາມຖີ່ຂອງການໄຫຼ, ອຸນຫະພູມເອເລັກໂຕຣນິກ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ປະເພດຂອງກຸ່ມຕິກິຣິຍາແລະຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນ, ແລະອື່ນໆ.

—— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເປີດເຜີຍໂດຍ Guangdong Zhenhua Technology, aຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບ optical.