ຂະບວນການຂອງການເຄືອບ cathode ion ເປັນຮູມີດັ່ງນີ້:
1. ເອົາ Chin ingots ເຂົ້າໄປໃນການລົ້ມລົງ.
2, ການຕິດຕັ້ງ workpiece ໄດ້.
3, ຫຼັງຈາກການຍົກຍ້າຍກັບ 5 × 10-3Pa, ອາຍແກັສ argon ໄດ້ຖືກນໍາສະເຫນີເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງເຄືອບຈາກທໍ່ເງິນ, ແລະລະດັບສູນຍາກາດແມ່ນປະມານ 100Pa.
4, ເປີດພະລັງງານອະຄະຕິ.
5, ຫຼັງຈາກເປີດພະລັງງານ arc ເພື່ອ ignite ການໄຫຼ cathode ເປັນຮູ. ການໄຫຼຂອງ glow ແມ່ນຜະລິດຢູ່ໃນທໍ່ປຸ່ມ, ແຮງດັນໄຟຟ້າອອກແມ່ນ 800 ~ 1000V, ປະຈຸບັນ arc ເພີ່ມຂຶ້ນແມ່ນ 30 ~ 50A. ເນື່ອງຈາກຜົນກະທົບ cathode ເປັນຮູຂອງ glow. ການໄຫຼອອກ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງການປ່ອຍອາຍພິດກະແສໄຟຟ້າສູງ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງຂອງ ions ຫນູໃນທໍ່ເງິນໄດ້ລະເບີດໃສ່ຝາຂອງທໍ່ vantage, ເຮັດໃຫ້ກໍາແພງທໍ່ອົບອຸ່ນຢ່າງໄວວາເຖິງການປ່ອຍອາຍພິດຂອງກະແສໄຟຟ້າ, ຮູບແບບການໄຫຼອອກຈາກການໄຫຼຂອງແສງສະຫວ່າງທີ່ມີການປ່ຽນແປງຢ່າງກະທັນຫັນເປັນ ການໄຫຼຂອງ arc, ແຮງດັນແມ່ນ 40 ~ 70V, ປະຈຸບັນແມ່ນ 80 ~ 300A. ອຸນຫະພູມທໍ່ເງິນໄປຮອດຂ້າງເທິງ 2300K, ເຕົາເຜົາ, ປ່ອຍກະແສໄຟຟ້າທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງຂອງ arc electrons ຈາກທໍ່, ແລະແຊງກັບ anode.
6, ການປັບລະດັບສູນຍາກາດ. ລະດັບສູນຍາກາດສໍາລັບການໄຫຼຂອງ glow ຈາກປືນ cathode ເປັນຮູແມ່ນປະມານ 100 Pa, ແລະລະດັບສູນຍາກາດຂອງການເຄືອບແມ່ນ 8 × 10-1 ~ 2Pa. ເພາະສະນັ້ນ, ຫຼັງຈາກ ignition ຂອງການໄຫຼ arc, ຫຼຸດຜ່ອນ argon ຂາເຂົ້າ. ອາຍແກັສໄວເທົ່າທີ່ຈະເປັນໄປໄດ້, ປັບລະດັບສູນຍາກາດໃຫ້ຢູ່ໃນລະດັບທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການເຄືອບ.
7, ຊັ້ນພື້ນຖານແຜ່ນ Titanium. ກະແສໄຟຟ້າເຂົ້າໄປໃນ ingot ໂລຫະ Chin ຍຸບ anodically, ການປ່ຽນພະລັງງານ kinetic ເປັນພະລັງງານຄວາມຮ້ອນ, ການລະເຫີຍຂອງໂລຫະ Chin ໂດຍການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ປະລໍາມະນູ vapor ສາມາດບັນລຸ workpiece ເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາ titanium.
8, ການຖິ້ມຂອງອາຍແກັສ TiN. Nitrogen ໄດ້ຖືກສະຫນອງໃຫ້ແກ່ຫ້ອງເຄືອບ, ອາຍແກັສໄນໂຕຣເຈນແລະປະລໍາມະນູ evaporated ແມ່ນ ionized ເປັນໄນໂຕຣເຈນແລະ titanium ions. ຂ້າງເທິງ crucible, ຄວາມເປັນໄປໄດ້ສູງຂອງການ collision inelastic ຂອງປະລໍາມະນູ vapor titanium ກັບສາຍນ້ໍາຫນາແຫນ້ນຂອງເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານຕ່ໍາ. ອັດຕາການແຕກແຍກຂອງໂລຫະແມ່ນສູງເຖິງ 20% ~ 40%, Titanium ions ມັກຈະປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີກັບທາດອາຍແກັສໄນໂຕຣເຈນຕິກິຣິຍາ, ການຝັງຕົວທີ່ຈະໄດ້ຮັບຊັ້ນຮູບເງົາ nitride mantle. ປືນ cathode ທີ່ເປັນຮູແມ່ນທັງແຫຼ່ງ vaporization, ແຫຼ່ງອື່ນ. ຂອງ ionization. ໃນລະຫວ່າງການເຄືອບ, ປະຈຸບັນຂອງທໍ່ແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າປະມານ crucible ຄວນປັບ, ສຸມໃສ່ beam ເອເລັກໂຕຣນິກກັບສູນກາງຂອງການ collapse, ດັ່ງນັ້ນ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງພະລັງງານຂອງ electron ໄຫຼເພີ່ມຂຶ້ນ.
9, ປິດພະລັງງານ. ຫຼັງຈາກຄວາມຫນາຂອງຟິມໄປຮອດຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາທີ່ໄດ້ກໍານົດໄວ້, ປິດການສະຫນອງພະລັງງານ arc, ການສະຫນອງພະລັງງານ Bias ແລະການສະຫນອງອາກາດ.
ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-08-2023