ໄດ້ອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນປະກອບດ້ວຍຫຼາຍພາກສ່ວນທີ່ຊັດເຈນ, ເຊິ່ງໄດ້ຖືກຜະລິດໂດຍຜ່ານຂະບວນການຈໍານວນຫຼາຍ, ເຊັ່ນ: ການເຊື່ອມໂລຫະ, ການຂັດ, ການຫັນ, ການວາງແຜນ, ເຈາະ, milling ແລະອື່ນໆ.ເນື່ອງຈາກການເຮັດວຽກເຫຼົ່ານີ້, ພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນຕ່າງໆຈະຖືກປົນເປື້ອນດ້ວຍມົນລະພິດບາງຢ່າງເຊັ່ນ: ນໍ້າມັນ, ຝຸ່ນນ້ໍາມັນ, ແຜ່ນໂລຫະ, ການເຊື່ອມໂລຫະ, ຂັດຂັດ, ຮອຍເຫື່ອແລະອື່ນໆ.ມົນລະພິດເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນງ່າຍທີ່ຈະ volatilize ພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດ, ດັ່ງນັ້ນຜົນກະທົບຕໍ່ສູນຍາກາດສຸດທ້າຍຂອງອຸປະກອນ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ມົນລະພິດສູນຍາກາດເຫຼົ່ານີ້ຈາກການປຸງແຕ່ງກົນຈັກຈະດູດຊຶມອາຍແກັສຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍໃນສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດ, ແລະໃນສະພາບສູນຍາກາດ, ອາຍແກັສ adsorbed ເຫຼົ່ານີ້ກ່ອນຫນ້ານີ້ຍັງຈະຖືກປ່ອຍອອກມາອີກເທື່ອຫນຶ່ງ, ກາຍເປັນປັດໄຈສໍາຄັນທີ່ຈໍາກັດສູນຍາກາດຈໍາກັດ.ສໍາລັບເຫດຜົນນີ້, ມົນລະພິດຕ້ອງໄດ້ຮັບການໂຍກຍ້າຍອອກກ່ອນທີ່ພາກສ່ວນຂອງເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດໄດ້ຖືກປະກອບ.
ໃນລະຫວ່າງການໃຊ້ອຸປະກອນສູນຍາກາດ, ອົງປະກອບຂອງມັນຈະຖືກປົນເປື້ອນ.ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ມົນລະພິດຈາກແຫຼ່ງນີ້ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເກີດມາຈາກເງື່ອນໄຂການນໍາໃຊ້ແລະເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ.
1. ການລະເຫີຍຂອງ filament ຂອງເຄື່ອງວັດສູນຍາກາດພາຍໃຕ້ສະພາບອຸນຫະພູມສູງຈະນໍາໄປສູ່ການສ້າງຕັ້ງຂອງຮູບເງົາກ່ຽວກັບ insulator ceramic, ຊຶ່ງຈະທໍາລາຍຄວາມເຂັ້ມແຂງ insulation ຂອງຕົນໃນລະດັບໃດຫນຶ່ງ, ແລະຍັງມີຜົນກະທົບສະເພາະໃດຫນຶ່ງຂອງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມັນ. ການວັດແທກ;
2. ເນື່ອງຈາກການລະເຫີຍຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ຮູບເງົາໂລຫະຈະໄດ້ຮັບການສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນຢູ່ດ້ານໃກ້ filament ຂອງປືນເອເລັກໂຕຣນິກໃນສູນຍາກາດ;
3. ເນື່ອງຈາກ sputtering workpiece, ກໍາແພງພາຍໃນຂອງອຸປະກອນ etching beam ion ຈະໄດ້ຮັບການປົນເປື້ອນໂດຍ splashes;
4. ກໍາແພງພາຍໃນຂອງອຸປະກອນການເຄືອບ evaporation ສູນຍາກາດຈະໄດ້ຮັບການປົນເປື້ອນໂດຍອຸປະກອນເປົ້າຫມາຍການລະເຫີຍຂອງມັນ;
5. ລະບົບການອົບແຫ້ງສູນຍາກາດແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ເລື້ອຍໆ, ແລະລະບົບຈະຖືກປົນເປື້ອນໂດຍສານລະເຫີຍ;
6. ນ້ຳມັນປ້ຳກະຈາຍ ແລະ ນ້ຳມັນປ້ຳກົນຈັກໃນອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດຍັງເປັນແຫຼ່ງມົນລະພິດທີ່ສຳຄັນ.ຫຼັງຈາກເຄື່ອງເຄືອບໄດ້ເຮັດວຽກເປັນເວລາດົນນານ, ຮູບເງົານ້ໍາມັນອາດຈະປະກອບຢູ່ໃນອຸປະກອນ.
ເພື່ອສະຫຼຸບ, ສຸຂາພິບານສູນຍາກາດຂອງອຸປະກອນປະກອບດ້ວຍອຸປະກອນສູນຍາກາດ, ລະບົບສູນຍາກາດ, ການຜະລິດຂະບວນການສູນຍາກາດແລະລັກສະນະອື່ນໆແລະການເຊື່ອມໂຍງ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດຕົວມັນເອງແລະຂະບວນການສູນຍາກາດພິເສດກ່ຽວກັບເງື່ອນໄຂການນໍາໃຊ້.ດັ່ງນັ້ນ, ມົນລະພິດສູນຍາກາດແມ່ນບັນຫາທີ່ສົມຄວນທີ່ຈະເອົາໃຈໃສ່, ເພາະວ່າມົນລະພິດເຫຼົ່ານີ້ຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ, ແລະຄວນເອົາໃຈໃສ່ກັບການເຮັດຄວາມສະອາດເປັນປົກກະຕິຫຼືທຸກເວລາ.
ເວລາປະກາດ: 21-21-2023