ຫຼັກການການເຮັດວຽກຂອງເຄື່ອງເຄືອບ Ion ແມ່ນຫຍັງ

ການເຄືອບໄອອອນເຄື່ອງ ມີຕົ້ນກໍາເນີດມາຈາກທິດສະດີທີ່ສະເຫນີໂດຍ DM Mattox ໃນຊຸມປີ 1960, ແລະການທົດລອງທີ່ສອດຄ້ອງກັນໄດ້ເລີ່ມຕົ້ນໃນເວລານັ້ນ;ຈົນກ່ວາ 1971, Chambers ແລະອື່ນໆໄດ້ພິມເຜີຍແຜ່ເຕັກໂນໂລຢີຂອງແຜ່ນ ion beam ເອເລັກໂຕຣນິກ;ເທກໂນໂລຍີການເຄືອບການລະເຫີຍ reactive (ARE) ໄດ້ຊີ້ໃຫ້ເຫັນໃນບົດລາຍງານ Bunshah ໃນປີ 1972, ໃນເວລາທີ່ປະເພດຮູບເງົາແຂງ super ເຊັ່ນ TiC ແລະ TiN ໄດ້ຖືກຜະລິດ;ນອກຈາກນີ້ໃນປີ 1972, Smith ແລະ Molley ໄດ້ຮັບຮອງເອົາເທກໂນໂລຍີ cathode ເປັນຮູໃນຂະບວນການເຄືອບ.ໃນຊຸມປີ 1980, ແຜ່ນ ion ຢູ່ໃນປະເທດຈີນໃນທີ່ສຸດໄດ້ບັນລຸລະດັບຂອງການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາ, ແລະຂະບວນການເຄືອບເຊັ່ນ: ແຜ່ນ ion ຫຼາຍ arc ສູນຍາກາດແລະ arc-discharge ແຜ່ນ ion ໄດ້ປະກົດຕົວຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

ຂະບວນການເຮັດວຽກທັງຫມົດຂອງແຜ່ນ ion ສູນຍາກາດແມ່ນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້: ທໍາອິດ,ສູບຫ້ອງການສູນຍາກາດ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນລໍຖ້າຄວາມກົດດັນສູນຍາກາດເປັນ 4X10 ⁻ ³ Paຫຼືດີກວ່າ, ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອເຊື່ອມຕໍ່ການສະຫນອງພະລັງງານແຮງດັນສູງແລະສ້າງພື້ນທີ່ plasma ອຸນຫະພູມຕ່ໍາຂອງອາຍແກັສອອກແຮງດັນຕ່ໍາລະຫວ່າງ substrate ແລະ evaporator ໄດ້.ເຊື່ອມຕໍ່ electrode substrate ກັບ 5000V DC ແຮງດັນສູງລົບເພື່ອສ້າງເປັນການປ່ອຍອາຍແກັສຂອງ cathode ໄດ້.ອາຍແກັສ inert ion ແມ່ນສ້າງຢູ່ໃກ້ກັບພື້ນທີ່ glow ລົບ.ພວກເຂົາເຈົ້າເຂົ້າໄປໃນພື້ນທີ່ຊ້ໍາ cathode ແລະຖືກເລັ່ງໂດຍພາກສະຫນາມໄຟຟ້າແລະ bombard ດ້ານຂອງ substrate ໄດ້.ນີ້ແມ່ນຂະບວນການທໍາຄວາມສະອາດ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນເຂົ້າໄປໃນຂະບວນການເຄືອບ.ໂດຍຜ່ານຜົນກະທົບຂອງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນລະເບີດ, ວັດສະດຸແຜ່ນບາງແມ່ນ vaporized.ພື້ນທີ່ plasma ເຂົ້າໄປໃນ protons, collides ກັບ electrons ແລະ ions ອາຍແກັສ inert, ແລະບາງສ່ວນຂອງເຂົາເຈົ້າໄດ້ຖືກ ionized, ionized ionized ເຫຼົ່ານີ້ມີພະລັງງານສູງຈະລະເບີດພື້ນຜິວຮູບເງົາແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາໄດ້ໃນລະດັບໃດຫນຶ່ງ.

ຫຼັກການຂອງແຜ່ນ ion ສູນຍາກາດແມ່ນ: ຢູ່ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ, ການນໍາໃຊ້ປະກົດການປ່ອຍອາຍແກັສຫຼືສ່ວນ ionized ຂອງວັດສະດຸ vaporized, ພາຍໃຕ້ການຖິ້ມລະເບີດຂອງ ions ອຸປະກອນ vaporized ຫຼື ions ອາຍແກັສ, ພ້ອມກັນຝາກສານ vaporized ເຫຼົ່ານີ້ຫຼື reactants ຂອງເຂົາເຈົ້າກ່ຽວກັບ substrate ໄດ້. ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຮັບຮູບເງົາບາງໆ.ການເຄືອບ ionເຄື່ອງປະສົມປະສານການລະເຫີຍສູນຍາກາດ, ເທກໂນໂລຍີ plasma ແລະການປ່ອຍອາຍແກັສ, ເຊິ່ງບໍ່ພຽງແຕ່ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ, ແຕ່ຍັງຂະຫຍາຍຂອບເຂດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງຮູບເງົາ.ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຂະບວນການນີ້ແມ່ນການແຜ່ກະຈາຍທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ການຕິດຟີມທີ່ດີ, ແລະອຸປະກອນການເຄືອບຕ່າງໆ.ຫຼັກການຂອງແຜ່ນ ion ໄດ້ຖືກສະເຫນີຄັ້ງທໍາອິດໂດຍ DM Mattox.ແຜ່ນ ion ມີຫຼາຍຊະນິດ.ປະເພດທົ່ວໄປທີ່ສຸດແມ່ນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ evaporation, ລວມທັງຄວາມຮ້ອນຕ້ານທານ, ຄວາມຮ້ອນ beam ເອເລັກໂຕຣນິກ, plasma electron beam heating, ຄວາມຮ້ອນ induction ຄວາມຖີ່ສູງແລະວິທີການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນອື່ນໆ.