Eksperimentinėje ritininio dengimo įrangoje naudojama dengimo technologija, jungianti magnetroninį purškimą ir katodo lanką, atitinkančią plėvelės kompaktiškumo ir didelio jonizacijos greičio reikalavimus.Įranga yra vertikalios konstrukcijos, o ruošinio apvijos sistema yra vertikaliai sumontuota vakuuminėje kameroje.Kelių kamerų durų konstrukcija, katodas sumontuotas ant šoninių durų, galima sumontuoti šešis katodinių šaltinių arba jonų šaltinių rinkinius, o taikinį galima išlaikyti arba pakeisti atidarius duris.Įranga gali atlikti ruošinio paviršiaus apdorojimą ir daugiasluoksnę dangą vienu metu, kad būtų galima nusodinti daugiasluoksnę plėvelę.Tinka įvairioms metalinėms arba sudėtinėms dengimo medžiagoms.
Įranga pasižymi gražia išvaizda, kompaktiška struktūra, nedideliu grindų plotu, aukštu automatizavimo laipsniu, paprastu ir lanksčiu veikimu, stabiliu veikimu ir lengva priežiūra.Jis ypač tinkamas naudoti laboratorijose ir kolegijose.Klientai gali rinktis pagal skirtingus poreikius.
Pasirenkami modeliai | Įrangos dydis ( plotis ) |
RCW300 | 300 mm |