Įranga naudoja elektronų pluošto garinimo technologiją.Elektronai išskiriami iš katodo gijos ir sufokusuojami į tam tikrą pluošto srovę, kurią pagreitina potencialas tarp katodo ir tiglio ištirpdyti ir išgaruoti dangos medžiagą.Jis turi didelio energijos tankio charakteristikas ir gali išgaruoti dangos medžiagą, kurios lydymosi temperatūra yra didesnė nei 3000 ℃.Plėvelė pasižymi dideliu grynumu ir dideliu šiluminiu efektyvumu.
Įrangoje yra elektronų pluošto garavimo šaltinis, jonų šaltinis, plėvelės storio stebėjimo sistema, plėvelės storio korekcijos struktūra ir stabili skėčio ruošinio sukimosi sistema.Dėl jonų šaltinio padedamos dangos padidinamas plėvelės kompaktiškumas, stabilizuojamas lūžio rodiklis ir išvengiama bangos ilgio poslinkio dėl drėgmės.Visiškai automatinė plėvelės storio stebėjimo sistema realiuoju laiku gali užtikrinti proceso pakartojamumą ir stabilumą.Jame yra savaiminio lydymosi funkcija, kuri sumažina priklausomybę nuo operatoriaus įgūdžių.
Įranga pritaikyta įvairioms oksidų ir metalo dangų medžiagoms ir gali būti padengta daugiasluoksnėmis tiksliomis optinėmis plėvelėmis, tokiomis kaip AR plėvelė, ilgųjų bangų pralaidumas, trumpųjų bangų pralaidumas, šviesinimo plėvelė, AS / AF plėvelė, IRCUT, spalvotų plėvelių sistema. , gradiento plėvelės sistema ir kt. Jis buvo plačiai naudojamas AR akinių, optinių lęšių, fotoaparatų, optinių lęšių, filtrų, puslaidininkių pramonėje ir kt.