GX600

Įranga naudoja vertikalią priekinių durų struktūrą ir klasterio išdėstymą.Jis gali būti aprūpintas metalų ir įvairių organinių medžiagų garinimo šaltiniais ir gali išgarinti įvairių specifikacijų silicio plokšteles.Įrengta tikslaus išlyginimo sistema, danga yra stabili, o danga gerai pakartojama.
GX600 dengimo įranga gali tiksliai, tolygiai ir kontroliuojamai išgarinti organines šviesą skleidžiančias medžiagas arba metalines medžiagas ant pagrindo.Jis pasižymi paprastu plėvelės formavimu, dideliu grynumu ir dideliu kompaktiškumu.Visiškai automatinė plėvelės storio stebėjimo sistema realiuoju laiku gali užtikrinti proceso pakartojamumą ir stabilumą.Jame yra savaiminio lydymosi funkcija, kuri sumažina priklausomybę nuo operatoriaus įgūdžių.
Įranga gali būti naudojama Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ir kitoms metalinėms medžiagoms ir gali būti padengta metalo plėvele, dielektrinio sluoksnio plėvele, IMD plėvele ir kt. Ji daugiausia naudojama puslaidininkiuose. pramonei, pavyzdžiui, maitinimo įtaisams, puslaidininkinei galinei pakavimo pagrindo dangai ir kt.