HFCVD0606

Cheminio garų nusodinimo įrangos vakuuminės dangos kamera turi nepriklausomą dvigubo sluoksnio vandens aušinimo struktūrą, kuri yra efektyvi ir vienoda aušinimo bei saugi ir stabili struktūra.Įranga suprojektuota su dvigubomis durimis, keliais stebėjimo langais ir daugybe išplėtimo sąsajų, todėl patogu išoriniam išoriniam išoriniam prijungimui prie papildomų periferinių įrenginių, tokių kaip infraraudonųjų spindulių temperatūros matavimas, spektrinė analizė, vaizdo stebėjimas ir termopora.Dėl pažangios konstrukcijos koncepcijos kasdienis kapitalinis remontas ir priežiūra, konfigūracijos keitimas ir įrangos atnaujinimas yra lengvas ir paprastas, o tai efektyviai sumažina naudojimo ir atnaujinimo išlaidas.

Įrangos savybės:

1. Įrangos pripūtimo komponentai daugiausia apima masės srauto matuoklį, solenoidinį vožtuvą ir dujų maišymo baką, kurie užtikrina tikslų proceso dujų srauto valdymą, vienodą maišymą ir saugų skirtingų dujų izoliavimą, taip pat gali pasirinkti dujų sistemos komponentus, skirtus naudoti skystųjų dujų šaltinis, palengvina asmeninį įvairių skystos anglies šaltinių pasirinkimą ir saugų sintetinių laidžių deimantų ir elektrodų skysto boro šaltinių naudojimą.
2. Oro ištraukimo agregate yra tylus ir efektyvus rotacinis vakuuminis siurblys ir turbo molekulinio siurblio sistema, kuri gali greitai patenkinti didelio vakuumo fono aplinką.Vakuumui matuoti naudojamas sudėtinis vakuumo matuoklis su varžos matuokliu ir jonizacijos matuokliu, taip pat talpinė plėvelės matuoklio sistema, galinti išmatuoti įvairių proceso dujų slėgį plačiame diapazone.Nusodinimo slėgis yra visiškai automatinis, valdomas didelio tikslumo proporcingu valdymo vožtuvu.
3. Aušinimo vandens komponente yra daugiakanalis vandens slėgio, srauto, temperatūros matavimo ir programinės įrangos automatinis stebėjimas.Skirtingi aušinimo komponentai yra nepriklausomi vienas nuo kito, todėl patogu greitai diagnozuoti gedimus.Visos šakos turi nepriklausomus vožtuvų jungiklius, o tai yra saugu ir efektyvu.
4. Elektriniai valdymo komponentai naudoja didelio dydžio žmogaus ir mašinos sąsajos LCD ekraną ir bendradarbiauja su PLC visiškai automatiniu valdymu, kad būtų lengviau redaguoti ir importuoti proceso formulę.Grafinėje kreivėje vizualiai atvaizduojami įvairių parametrų pokyčiai ir reikšmės, o įrangos ir proceso parametrai automatiškai registruojami ir archyvuojami, kad būtų lengviau sekti problemas ir atlikti statistinę duomenų analizę.
5. Ruošinio stove yra servo variklis, skirtas pagrindo stalo pakėlimui ir nuleidimui valdyti.Galima pasirinkti grafito arba raudono vario pagrindo stalą.Temperatūra matuojama termopora.
6. Stovo komponentai gali būti suprojektuoti kaip visa arba atskirai, atsižvelgiant į klientų reikalavimus, kad atitiktų specialius klientų tvarkymo reikalavimus.
7. Sandarinimo plokštės komponentai yra gražūs ir elegantiški.Skirtingose ​​įrangos funkcinių modulių zonose esančias sandarinimo plokštes galima greitai išardyti arba atidaryti ir uždaryti savarankiškai, o tai labai patogu naudoti.

Karšto gijų CVD įranga tinka deimantinėms medžiagoms, įskaitant plonos plėvelės dangą, savaime laikančią storą plėvelę, mikrokristalinį ir nanokristalinį deimantą, laidųjį deimantą ir kt., nusodinti. Daugiausia naudojama cementuoto karbido pjovimo įrankių, puslaidininkių medžiagų dilimui atspariam apsauginiam padengimui. pavyzdžiui, silicis ir silicio karbidas, prietaisų šilumą išsklaidanti danga, boru legiruotas laidus deimantinis elektrodas, elektrolitinio vandens dezinfekcija ozonu arba nuotekų valymas.