Įrangoje integruota magnetroninio purškimo ir atsparumo garinimo technologija ir pateikiamas sprendimas įvairiems pagrindams padengti.
Eksperimentinė dengimo įranga daugiausia naudojama universitetuose ir mokslinių tyrimų institucijose ir gali atitikti įvairius eksperimentinius reikalavimus.Įrangai rezervuoti įvairūs struktūriniai tikslai, kuriuos galima lanksčiai konfigūruoti, kad atitiktų įvairių sričių mokslinius tyrimus ir plėtrą.Galima pasirinkti magnetronų purškimo sistemą, katodo lanko sistemą, elektronų pluošto garinimo sistemą, atsparumo garinimo sistemą, CVD, PECVD, jonų šaltinį, šališkumo sistemą, šildymo sistemą, trimatį armatūrą ir kt.Klientai gali rinktis pagal skirtingus poreikius.
Įranga pasižymi gražia išvaizda, kompaktiška struktūra, nedideliu grindų plotu, aukštu automatizavimo laipsniu, paprastu ir lanksčiu veikimu, stabiliu veikimu ir lengva priežiūra.
Įranga gali būti naudojama plastikui, nerūdijančiam plienui, galvanizuotoms aparatūros / plastikinėms dalims, stiklui, keramikai ir kitoms medžiagoms.Galima paruošti paprastus metalo sluoksnius, tokius kaip titanas, chromas, sidabras, varis, aliuminis arba metalo junginių plėvelės, pvz., TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600 (mm) | φ600*H800 (mm) | φ800*H1000 (mm) |