Sparčiai augant rinkos poreikiui pagerinti kietų dangų atsparumą dilimui, tepimui, atsparumą korozijai ir kitas savybes, katodinio lanko magnetinio filtravimo jonų dangų įranga tapo akcentu.Įranga naudoja dažniausiai naudojamą ir veiksmingą 90 laipsnių alkūnės apskrito pjūvio magnetinio filtro įtaisą, kuris gali efektyviai pašalinti dideles daleles, kad būtų visiškai išnaudoti katodinio lanko jonų dangos technologijos pranašumai.DLC ypač kietų dangų ruošimo srityje, ypač Ta-C dangų, turinčių daug puikių fizinių ir cheminių savybių, tokių kaip didelis kietumas, mažas trinties koeficientas, šilumos laidumas, izoliacija, UV sugertis, atsparumas radiacijai, atsparumas korozijai, paruošimo srityje. ir pan., privalumai yra ypač reikšmingi.Vidutinis Ta-C dangų kietumas gali siekti iki maždaug 63GPa.
Įranga gali nusodinti hibridines deimantines anglies dangas, tokias kaip Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN, kurios tinka mikrogręžimui, frezavimo staklėms, čiaupams, strypo formos pjaustytuvams, automobilių dalims, medicinos prietaisams ir kt. laukai.
Lazerio Ramano spektro bandymo rezultatai, Ramano spektro Cr pereinamojo sluoksnio greitaeigio plieno paviršiuje:
20210122 pavyzdys, Ramano testo rezultatų Gauso pritaikymas (ID/IG=0,224, sp3 kiekis pakankamai didelis):
Remiantis „Nano“ įdubimo prietaiso kietumo bandymo rezultatais, vidutinis mėginio 20210122 kietumas yra 62,7 GPa:
MFA0605 |
φ600*H500 (mm) |