1.Lanko šviesos elektronų srauto charakteristikos
Elektronų srauto, jonų srauto ir didelės energijos neutralių atomų tankis lankinėje plazmoje, susidarančioje dėl lankinio išlydžio, yra daug didesnis nei švytėjimo išlydžio.Dengimo erdvėje yra daugiau dujų jonų ir metalo jonų jonizuotų, sužadintų didelės energijos atomų, įvairių aktyvių grupių, kurios atlieka svarbų vaidmenį dengimo proceso šildymo, valymo ir dengimo etapuose.Lanko elektronų srauto veikimo forma skiriasi nuo jonų pluošto, kurie ne visi susilieja į „spindulį“, bet dažniausiai divergentinėje būsenoje, todėl tai vadinama lanko elektronų srautu.Kadangi lanko elektronai teka link anodo, lanko elektronų srautas nukreipiamas visur, kur prijungtas teigiamas lankinio maitinimo šaltinio elektrodas, o anodas gali būti ruošinys, pagalbinis anodas, tiglis ir kt.
2.Lanko elektronų srauto generavimo būdas
(1) Dujų šaltinis sukuria lanko elektronų srautą: tuščiavidurio katodo lanko išlydžio ir karšto laido lankinio išlydžio lanko srovė gali siekti apie 200 A, o lanko įtampa yra 50–70 V.
(2) Kietasis šaltinis generuoja lanko elektronų srautą: katodo lanko šaltinis, įskaitant mažo lanko šaltinį, cilindrinio lanko šaltinį, stačiakampio plokštumos didelio lanko šaltinį ir tt Kiekvieno katodo lanko šaltinio išlydžio lanko srovė yra 80–200 A, o lanko įtampa yra 18-25V.
Didelio tankio ir mažos energijos lanko elektronų srautas dviejų tipų lankinio išlydžio plazmose gali sukelti intensyvią susidūrimo jonizaciją su dujų ir metalo plėvelės atomais, gaudama daugiau dujų jonų, metalų jonų ir įvairių didelės energijos aktyvių atomų ir grupių, taip pagerindama bendras plėvelės sluoksnio jonų aktyvumas.
– Šį straipsnį paskelbė Guangdong Zhenhua, avakuuminio dengimo mašinų gamintojas
Paskelbimo laikas: 2023-05-31