Dabartinė vakuuminės puslaidininkinės dangos taikymo situacija

Kaip visi žinome, puslaidininkio apibrėžimas yra toks, kad jo laidumas yra tarp sausų laidininkų ir izoliatorių, o varža tarp metalo ir izoliatoriaus, kuri paprastai kambario temperatūroje yra 1 mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Pastaraisiais metais Vakuuminės puslaidininkinės dangos pagrindinėse puslaidininkių įmonėse akivaizdu, kad jos statusas tampa vis aukštesnis, ypač kai kuriose didelės apimties integrinių sistemų grandinių kūrimo technologijų tyrimų metodų magnetoelektrinių konversijos įtaisų, šviesą spinduliuojančių įrenginių ir kitų plėtros darbų srityse.Svarbų vaidmenį atlieka vakuuminė puslaidininkinė danga.

Puslaidininkiai pasižymi būdingomis savybėmis, temperatūra ir priemaišų koncentracija.Vakuuminės puslaidininkinės dangos medžiagos viena nuo kitos skiriasi daugiausia dėl jas sudarančių junginių.Beveik visi yra pagaminti iš boro, anglies, silicio, germanio, arseno, stibio, telūro, jodo ir kt., o kai kurie palyginti nedaug GaP, GaAs, lnSb ir kt. Taip pat yra keletas oksidinių puslaidininkių, tokių kaip FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O3, Cu₂O ir kt.

Vakuuminis garinimas, purškimo danga, jonų danga ir kita įranga gali atlikti vakuuminę puslaidininkinę dangą.Ši dengimo įranga skiriasi savo veikimo principu, tačiau visos jos puslaidininkinės medžiagos dengiamosios medžiagos nusodinamos ant pagrindo, o kaip pagrindo medžiagai, nėra jokio reikalavimo, ji gali būti puslaidininkinė arba ne.Be to, skirtingų elektrinių ir optinių savybių dangas galima paruošti tiek priemaišų difuzijos, tiek jonų implantavimo būdu ant puslaidininkinio pagrindo paviršiaus tam tikru diapazonu.Gautas plonas sluoksnis taip pat gali būti apdorojamas kaip puslaidininkinė danga.

Vakuuminė puslaidininkinė danga yra nepakeičiama elektronikos dalis, nesvarbu, ar tai būtų aktyvūs, ar pasyvūs įrenginiai.Nuolat tobulėjant vakuuminio puslaidininkių dengimo technologijai, tapo įmanoma tiksliai kontroliuoti plėvelės veikimą.

Pastaraisiais metais amorfinė danga ir polikristalinė danga padarė sparčią pažangą fotolaidžių prietaisų, padengtų lauko efekto vamzdžių ir didelio efektyvumo saulės elementų gamyboje.Be to, dėl vakuuminės puslaidininkinės dangos sukūrimo ir plonos jutiklių plėvelės, kuri taip pat žymiai sumažina medžiagų pasirinkimo sunkumus ir palaipsniui supaprastina gamybos procesą.Vakuuminė puslaidininkių dengimo įranga tapo būtina puslaidininkių panaudojimo dalimi.Įranga plačiai naudojama kamerų įrenginių, saulės elementų, dengtų tranzistorių, lauko emisijos, katodo šviesos, elektronų emisijos, plonos plėvelės jutimo elementų ir kt.

Magnetroninio purškimo dangos linija sukurta su visiškai automatine valdymo sistema, patogia ir intuityvia jutiklinio ekrano žmogaus ir mašinos sąsaja.Linija suprojektuota su pilnu funkcijų meniu, kad būtų galima visiškai stebėti visos gamybos linijos komponentų veikimo būseną, proceso parametrų nustatymą, veikimo apsaugą ir aliarmo funkcijas.Visa elektros valdymo sistema yra saugi, patikima ir stabili.Įrengtas viršutinis ir apatinis dvipusis magnetroninis purškimo taikinys arba vienpusė dangos sistema.

Įranga daugiausia naudojama keraminėms plokštėms, lustiniams aukštos įtampos kondensatoriams ir kitai pagrindo dangai, pagrindinės taikymo sritys yra elektroninės plokštės.