1. Terminė CVD technologija
Kietosios dangos dažniausiai yra metalo keraminės dangos (TiN ir kt.), kurios susidaro dangoje reaguojant metalui ir reaktyviam dujofikavimui.Iš pradžių šiluminė CVD technologija buvo naudojama kombinuotos reakcijos aktyvavimo energijai gauti naudojant šiluminę energiją aukštoje 1000 ℃ temperatūroje.Ši temperatūra tinka tik TiN ir kitoms kietoms dangoms padengti ant cementuoto karbido įrankių.Iki šiol vis dar svarbi technologija dengti TiN-Al20 kompozicines dangas ant cementuoto karbido įrankių galvučių.
2. Tuščiavidurio katodo jonų danga ir karštos vielos lanko jonų danga
Devintajame dešimtmetyje dengtiems pjovimo įrankiams dengti buvo naudojama tuščiavidurio katodo jonų danga ir karštos vielos lanko jonų danga.Abi šios jonų dengimo technologijos yra lankinio išlydžio jonų dengimo technologijos, kurių metalo jonizacijos greitis yra iki 20–40%.
3. Katodinė lankinė jonų danga
Dėl katodinio lanko jonų dangos atsiradimo buvo sukurta kietų dangų nusodinimo ant formų technologija.Katodinio lanko jonų dangos jonizacijos greitis yra 60% ~ 90%, todėl daug metalo jonų ir reakcijos dujų jonų pasiekia ruošinio paviršių ir vis tiek palaiko aukštą aktyvumą, todėl nusėda reakcijos metu ir susidaro kietos dangos, pvz. TiN.Šiuo metu katodinio lanko jonų dengimo technologija daugiausia naudojama kietoms formų dangoms padengti.
Katodinis lanko šaltinis yra kietojo kūno garavimo šaltinis be fiksuoto išlydyto baseino, o lanko šaltinio padėtis gali būti savavališkai išdėstyta, pagerinant dengimo patalpos erdvės panaudojimą ir padidinant krosnies apkrovą.Katodinio lanko šaltinių formos apima mažus apskrito katodo lanko šaltinius, stulpelinius lanko šaltinius ir stačiakampius plokščius didelius lanko šaltinius.Įvairūs mažo lanko šaltinių, stulpelių lanko šaltinių ir didelių lanko šaltinių komponentai gali būti išdėstyti atskirai, kad būtų galima nusodinti daugiasluoksnes plėveles ir nano daugiasluoksnes plėveles.Tuo tarpu dėl didelio katodinio lanko jonų dangos metalo jonizacijos greičio metalo jonai gali sugerti daugiau reakcijos dujų, todėl procesas yra platus ir paprastas darbas, siekiant gauti puikias kietas dangas.Tačiau dangos sluoksnio, gauto katodinio lanko jonų danga, mikrostruktūroje yra stambių lašelių.Pastaraisiais metais atsirado daug naujų plėvelės sluoksnio struktūros tobulinimo technologijų, kurios pagerino lanko jonų dangos plėvelės kokybę.
——Šį straipsnį išleido Guangdong Zhenhua Technology, aoptinio dengimo mašinų gamintojas.
Paskelbimo laikas: 2023-04-28