1. Bombardavimo valymo substratas
1.1) Purškimo dengimo mašina pagrindo valymui naudoja švytėjimą.Tai reiškia, kad į kamerą įkraukite argono dujas, iškrovimo įtampa yra apie 1000 V, Įjungus maitinimą, susidaro švytėjimo išlydis, o substratas išvalomas bombarduojant argono jonus.
1.2) Dengimo purškimo mašinose, kurios pramoniniu būdu gamina aukščiausios klasės papuošalus, valymui dažniausiai naudojami mažų lanko šaltinių skleidžiami titano jonai.Purškiamojoje dengimo mašinoje yra mažas lanko šaltinis, o titano jonų srautas lanko plazmoje, kurį sukuria mažo lanko šaltinio iškrova, naudojamas substratui bombarduoti ir valyti.
2. Titano nitrido danga
Nusodinant plonas titano nitrido plėveles, purškimo medžiaga yra titano taikinys.Tikslinė medžiaga yra prijungta prie neigiamo purškimo maitinimo šaltinio elektrodo, o tikslinė įtampa yra 400–500 V;Argono srautas yra fiksuotas, o valdymo vakuumas yra (3–8) x10-1PA.Pagrindas yra prijungtas prie neigiamo poslinkio maitinimo šaltinio elektrodo, kurio įtampa yra 100–200 V.
Įjungus purškiančio titano taikinio maitinimą, susidaro švytėjimo išlydis, o didelės energijos argono jonai bombarduoja purškiantį taikinį, purškdami titano atomus iš taikinio.
Dengimo kameroje įvedamas reakcijos dujos azotas, o titano atomai ir azotas jonizuojami į titano jonus ir azoto jonus.Pritraukiant neigiamą poslinkio elektrinį lauką, taikomą substratui, titano jonai ir azoto jonai pagreitėja iki substrato paviršiaus cheminei reakcijai ir nusodinimui, kad susidarytų titano nitrido plėvelės sluoksnis.
3. Išimkite substratą
Pasiekę iš anksto nustatytą plėvelės storį, išjunkite purškimo maitinimo šaltinį, substrato poslinkio maitinimo šaltinį ir oro šaltinį.Kai pagrindo temperatūra yra žemesnė nei 120 ℃, užpildykite dangos kamerą oro ir išimkite pagrindą.
Šį straipsnį paskelbėmagnetroninio purškimo dengimo mašinos gamintojas– Guangdong Zhenhua.
Paskelbimo laikas: 2023-07-07