Tuščiavidurio katodo jonų dengimo procesas

Tuščiavidurio katodo jonų dengimo procesas yra toks:

1. Įdėkite smakro luitus į griūtį.

2, ruošinio montavimas.

3 、 Išsiurbus iki 5 × 10-3 Pa, į dangos kamerą iš sidabrinio vamzdelio įleidžiamos argono dujos, o vakuumo lygis yra apie 100 Pa.

4. Įjunkite šališkumo maitinimą.

5、Įjungus lanko maitinimą, kad užsidegtų tuščiavidurio katodo išlydis. Švytėjimo išlydis generuojamas mygtuko vamzdyje, iškrovimo įtampa yra 800–1000 V, lanko kėlimo srovė yra 30–50 A. Dėl tuščiavidurio katodo švytėjimo efekto išlydis, didelis švytėjimo išlydžio srovės tankis, didelis žiurkių jonų tankis sidabro vamzdyje bombarduoja vamzdžio sienelę, greitai sušildo vamzdžio sienelę iki elektronų srauto, išlydžio režimas iš švytėjimo išlydžio staiga pasikeičia į lanko išlydis, įtampa 40 ~ 70 V, srovė 80 ~ 300 A. Sidabrinio vamzdžio temperatūra siekia virš 2300 K, Kaitrinė lemputė, Iš vamzdelio išskiria didelio tankio lanko elektronų srautą ir šaudo į anodą.

6. Vakuuminio lygio reguliavimas. Tuščiavidurio katodo pistoleto švytėjimo išlydžio vakuumo lygis yra apie 100 Pa, o dangos vakuuminis laipsnis yra 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Todėl, užsidegus lankiniam išlydžiui, sumažinkite įeinantį argoną kuo greičiau dujas, sureguliuokite vakuumo lygį iki dengimui tinkamo diapazono.

7、Titanu padengtas pagrindo sluoksnis.Elektronų srautas ant anodiškai subyrėjusio Chin metalo luito,Kinetinės energijos pavertimas šilumine energija,Chin metalo išgarinimas kaitinant,Garų atomai pasiekia ruošinį ir sudaro titano plėvelę.

8、Tino nusodinimas.Azoto dujos tiekiamos į dengimo kamerą,Azoto dujos ir išgarinti atomai jonizuojami į azoto ir titano jonus.Virš tiglio,Didesnė neelastinio titano garų atomų susidūrimo su tankiais mažos energijos elektronų srautais tikimybė. Metalo disociacijos greitis siekia net 20–40%., Titano jonai labiau linkę chemiškai reaguoti su reakcijos dujomis azotu, Nusėdimas, kad susidarytų nitrido mantijos plėvelės sluoksnis. Tuščiaviduris katodinis pistoletas yra ir garinimo šaltinis, kitas šaltinis. jonizacijos.Dengimo metu taip pat reikia reguliuoti elektromagnetinės ritės aplink tiglį srovę,Sufokusuokite elektronų pluoštą į žlugimo centrą,Taigi padidėja elektronų srauto galios tankis.

9、Maitinimas išjungtas. Kai plėvelės storis pasiekia iš anksto nustatytą plėvelės storį, išjunkite lanko maitinimo šaltinį、Poslinkio maitinimo ir oro tiekimas.