Garinimo dengimo metu plėvelės sluoksnio susidarymas ir augimas yra įvairių jonų dengimo technologijų pagrindas.
1.Branduolių susidarymas
Invakuuminio garavimo dengimo technologija,po to, kai plėvelės sluoksnio dalelės išgaruoja iš garavimo šaltinio atomų pavidalu, jos aukštame vakuume nuskrenda tiesiai į ruošinį ir formuojasi plėvelės sluoksnį branduoliu ir augimu ruošinio paviršiuje.Vakuuminio garinimo metu plėvelės sluoksnio atomų, išeinančių iš garinimo šaltinio, energija yra apie 0,2 eV.Kai sanglauda tarp plėvelės sluoksnio dalelių yra didesnė nei jungties jėga tarp plėvelės sluoksnio atomų ir ruošinio, susidaro salos branduolys.Vieno plėvelės sluoksnio atomas lieka ruošinio paviršiuje tam tikrą laiką, darydamas netaisyklingą judėjimą, difuziją, migraciją ar susidūrimą su kitais atomais, sudarydamas atomų spiečius. Atomų skaičius atomų klasteryje pasiekia tam tikrą kritinę vertę, stabilų. susidaro branduolys, vadinamas vienalytės formos branduoliu.
lygus, turi daug defektų ir žingsnių, dėl kurių skiriasi skirtingų ruošinio dalių adsorbcijos jėga radioaktyviesiems atomams.Defekto paviršiaus adsorbcijos energija yra didesnė nei įprasto paviršiaus, todėl jis tampa aktyviuoju centru, kuris yra palankus preferenciniam branduoliui, vadinamam heterogeniniu branduoliu.Kai sanglaudos jėga yra lygi surišimo jėgai arba surišimo jėga tarp membranos atomų ir ruošinio yra didesnė už sanglaudos jėgą tarp membranos atomų, susidaro sluoksninė struktūra.Naudojant jonų dengimo technologiją, daugeliu atvejų susidaro salos šerdis.
2.Augimas
Kai susiformuoja plėvelės šerdis, ji toliau auga sulaikydama krintančius atomus. Salos auga ir jungiasi viena su kita, sudarydamos didesnius pusrutulius, palaipsniui suformuodamos pusrutulio formos salos sluoksnį, kuris pasklinda ruošinio paviršiuje.
Kai plėvelės sluoksnio atominė energija yra didelė, ji gali pakankamai sklaidytis paviršiuje ir gali susidaryti lygi ištisinė plėvelė, kai vėliau įeinančios atomų grupės yra mažos. Jei atomų difuzija paviršiuje yra silpna ir jos dydis yra mažas. nusėdusios sankaupos yra didelės, jos egzistuoja kaip dideli pusiasalio branduoliai. Salos šerdies viršus turi stiprų šešėlio efektą įgaubtai daliai, tai yra „šešėlio efektas“. Paviršiaus projekcija yra palankesnė vėliau nusėdusiems atomams užfiksuoti. ir pirmenybinis augimas, dėl kurio didėja paviršiaus įdubimas, kad susidarytų pakankamo dydžio kūginiai arba stulpeliai.Tarp kūginių kristalų susidaro prasiskverbiančios tuštumos ir padidėja paviršiaus šiurkštumo reikšmė. Smulkus audinys gali būti gaunamas esant dideliam vakuumui, mažėjant vakuumo laipsniui, membranos mikrostruktūra tampa vis storesnė.
Paskelbimo laikas: 2023-05-24