Mažo lanko šaltinio jonų dengimo procesas

Katodinio lanko šaltinio jonų dengimo procesas iš esmės yra toks pat kaip ir kitų dengimo technologijų, o kai kurios operacijos, tokios kaip ruošinių montavimas ir siurbimas, nebekartojamos.

1.Ruošinių valymas bombardavimu

Prieš dengiant 2×10-2Pa vakuumu į dengimo kamerą įleidžiamos argono dujos.

Įjunkite impulsinio poslinkio maitinimo šaltinį, kurio darbo ciklas yra 20%, o ruošinio poslinkis yra 800–1000 V.

Įjungus lanko maitinimą, susidaro šalto lauko lanko šviesos išlydis, kuris iš lanko šaltinio skleidžia didelį kiekį elektronų srovės ir titano jonų srovės, suformuojant didelio tankio plazmą.Titano jonai pagreitina jo įpurškimą į ruošinį, kai ant ruošinio veikiamas neigiamas aukštas poslinkio slėgis, bombarduodamas ir išpurkšdamas ant ruošinio paviršiaus adsorbuotas likusias dujas ir teršalus, taip pat išvalydamas ir išvalydamas ruošinio paviršių;Tuo pačiu metu chloro dujos dengimo kameroje jonizuojamos elektronų, o argono jonai pagreitina ruošinio paviršiaus bombardavimą.

Todėl bombardavimo valymo efektas yra geras.Tik maždaug 1 minutė bombardavimo valymo gali išvalyti ruošinį, o tai vadinama „pagrindiniu lanko bombardavimu“.Dėl didelės titano jonų masės, jei ruošinio bombardavimui ir valymui naudojamas mažas lanko šaltinis per ilgai, ruošinio temperatūra gali perkaisti, o įrankio kraštas gali suminkštėti.Bendroje gamyboje mažo lanko šaltiniai įjungiami po vieną iš viršaus į apačią, o kiekvieno mažo lanko šaltinio bombardavimo valymo laikas yra apie 1 minutę.

(1) Padengti apatinį titano sluoksnį

Siekiant pagerinti plėvelės ir pagrindo sukibimą, prieš dengiant titano nitridu paprastai padengiamas gryno titano substrato sluoksnis.Sureguliuokite vakuumo lygį iki 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa, sureguliuokite ruošinio poslinkio įtampą iki 400–500 V ir sureguliuokite impulsinio poslinkio maitinimo šaltinio darbo ciklą iki 40% ~ 50%.Vis dar uždegami maži lanko šaltiniai po vieną, kad generuotų šalto lauko lankinį išlydį.Sumažėjus ruošinio neigiamai poslinkio įtampai, mažėja titano jonų energija.Pasiekus ruošinį, purškimo efektas yra mažesnis nei nusodinimo efektas, o ant ruošinio susidaro pereinamasis titano sluoksnis, kuris pagerina titano nitrido kietos plėvelės sluoksnio ir pagrindo sukibimo jėgą.Šis procesas taip pat yra ruošinio kaitinimo procesas.Kai gryno titano taikinys iškraunamas, šviesa plazmoje yra žydros mėlynos spalvos.

1.Amoniako dubenėlio kietos plėvelės danga

Sureguliuokite vakuumo laipsnį iki 3 × 10^-1-5Pa, sureguliuokite ruošinio poslinkio įtampą iki 100–200 V ir sureguliuokite impulsinio poslinkio maitinimo šaltinio darbo ciklą iki 70% ~ 80%.Įvedus azotą, titanas yra derinamas su lankinio išlydžio plazma, kad nusodintų titano nitrido kietą plėvelę.Šiuo metu plazmos šviesa vakuuminėje kameroje yra vyšninės raudonos spalvos.Jeigu C₂H₂, O₂Įvedami TiCN, TiO ir kt₂tt galima gauti plėvelės sluoksnius.

– Šį straipsnį paskelbė Guangdong Zhenhua, avakuuminio dengimo mašinų gamintojas