Vakuuminis jonų dengimas (sutrumpintai jonų dengimas) yra nauja paviršiaus apdorojimo technologija, kuri sparčiai plėtojama aštuntajame dešimtmetyje, kurią 1963 m. pasiūlė DM Mattox iš Somdia Company Jungtinėse Valstijose. Tai reiškia garinimo šaltinio arba purškimo procesą. taikinys, skirtas išgarinti arba išpurkšti plėvelės medžiagą vakuuminėje atmosferoje.
Pirmasis yra generuoti metalo garus kaitinant ir išgarinant plėvelės medžiagą, kuri iš dalies jonizuojasi į metalo garus ir didelės energijos neutralius atomus dujų išlydžio plazmos erdvėje ir pasiekia substratą, kad susidarytų plėvelė veikiant elektriniam laukui. ;pastarasis naudoja didelės energijos jonus (pavyzdžiui, Ar+), bombarduoja plėvelės medžiagos paviršių taip, kad išpurškiamos dalelės per dujų išlydžio erdvę jonizuojasi į jonus arba didelės energijos neutralius atomus ir realizuoja pagrindo paviršių. sukurti filmą.
Šį straipsnį paskelbė Guangdong Zhenhua, gamintojasvakuuminio dengimo įranga
Paskelbimo laikas: 2023-03-10