Thevakuuminio dengimo įrangasusideda iš daugybės tikslių dalių, kurios gaminamos atliekant daugybę procesų, tokių kaip suvirinimas, šlifavimas, tekinimas, obliavimas, gręžimas, frezavimas ir pan.Dėl šių darbų įrangos dalių paviršius neišvengiamai bus užterštas kai kuriais teršalais, tokiais kaip riebalai, alyvos nešvarumai, metalo drožlės, suvirinimo srautas, poliravimo pasta, prakaito žymės ir pan.Šiuos teršalus lengva išgaruoti vakuumo sąlygomis, todėl paveikiamas galutinis įrangos vakuumas.
Be to, šie mechaninio apdorojimo vakuuminiai teršalai sugeria didelį kiekį dujų atmosferos slėgio aplinkoje, o vakuuminėje būsenoje šios anksčiau adsorbuotos dujos taip pat vėl išsiskirs, tapdamos pagrindiniu veiksniu, ribojančiu ribinį vakuumą.Dėl šios priežasties teršalai turi būti pašalinti prieš surenkant vakuuminio dengimo mašinos dalis.
Naudojant vakuuminę įrangą, jos komponentai taip pat bus užterštos.Tačiau taršą iš šio šaltinio daugiausia sukelia naudojimo sąlygos ir vakuuminis siurblys.
1. Išgaravus vakuuminio matuoklio siūlui esant aukštai temperatūrai, ant keraminio izoliatoriaus susidarys plėvelė, kuri tam tikru mastu pažeis jo izoliacijos stiprumą, taip pat turės įtakos jo tikslumui. matavimas;
2. Dėl aukštos temperatūros garavimo ant paviršiaus prie elektroninio ginklo gijos vakuume susidarys metalinė plėvelė;
3. Dėl ruošinio purškimo jonų pluošto ėsdinimo įrangos vidinė sienelė bus užteršta purslais;
4. Vakuuminio garinimo dengimo įrangos vidinė sienelė bus užteršta tiksline medžiaga, skirta garinti;
5. Dažnai naudojama vakuuminė džiovinimo sistema, kuri bus užteršta išgaravusiomis medžiagomis;
6. Difuzinio siurblio alyva ir mechaninio siurblio alyva vakuuminio dengimo įrangoje taip pat yra pagrindinis taršos šaltinis.Dengimo mašinai veikiant ilgą laiką, įrenginio viduje gali susidaryti alyvos plėvelė.
Apibendrinant galima teigti, kad įrangos vakuuminė sanitarija apima vakuuminę įrangą, vakuuminę sistemą, vakuuminio proceso gamybą ir kitus aspektus bei sąsajas, taip pat pačios vakuuminio dengimo įrangos ir specialaus vakuuminio proceso reikalavimus naudojimo sąlygoms.Todėl vakuuminė tarša yra dėmesio verta problema, nes ši tarša turės įtakos įrangos veikimui, todėl reikia atkreipti dėmesį į reguliarų ar bet kada valymą.
Paskelbimo laikas: 2023-02-21