RCW600

Šioje įrangos serijoje naudojami magnetroniniai taikiniai, kad dangos medžiagas paverstų nanometro dydžio dalelėmis, kurios nusėda ant pagrindo paviršiaus ir sudaro plonas plėveles.Suvyniota plėvelė dedama į vakuuminę kamerą.Per elektra varomą apvijos konstrukciją vienas galas priima plėvelę, o kitas uždeda plėvelę.Jis toliau praeina per tikslinę sritį ir gauna tikslines daleles, kad susidarytų tanki plėvelė.
Charakteristika:

1. Žemos temperatūros plėvelės formavimas.Temperatūra mažai veikia plėvelę ir nesukels deformacijos.Jis tinka PET, PI ir kitų pagrindinių medžiagų ritinių plėvelėms.
2. Plėvelės storis gali būti suprojektuotas.Plonos arba storos dangos gali būti suprojektuotos ir nusodinamos reguliuojant procesą.
3. Kelių tikslinių vietų projektavimas, lankstus procesas.Visoje mašinoje gali būti aštuoni taikiniai, kurie gali būti naudojami kaip paprasti metaliniai taikiniai arba sudėtiniai ir oksidiniai taikiniai.Jis gali būti naudojamas ruošiant viensluoksnes plėveles su viena struktūra arba daugiasluoksnes plėveles su kompozicine struktūra.Procesas yra labai lankstus.

Įranga gali paruošti elektromagnetinę ekranavimo plėvelę, lanksčią plokštės dangą, įvairias dielektrines plėveles, daugiasluoksnę AR antirefleksinę plėvelę, HR aukšto antireflekso plėvelę, spalvotą plėvelę ir kt. įranga turi labai platų pritaikymo spektrą ir vieno sluoksnio plėvelės nusodinimą gali būti užbaigtas vienkartiniu plėvelės nusodinimu.
Įranga gali priimti paprastus metalinius taikinius, tokius kaip Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl ir kt., arba sudėtinius taikinius, tokius kaip SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO ir kt.

Įranga yra mažo dydžio, kompaktiškos konstrukcijos, mažo grindų ploto, mažai suvartoja energijos ir lanksčiai reguliuojama.Tai labai tinka proceso tyrimams ir plėtrai arba mažų partijų masinei gamybai.