Jonų pluošto nusodinimo technologija

Tiesą sakant, jonų pluošto nusodinimo technologija yra sudėtinė technologija.Tai sudėtinė paviršiaus jonų apdorojimo technika, jungianti jonų implantavimo ir fizinio garų nusodinimo plėvelės technologiją bei naujo tipo jonų pluošto paviršiaus optimizavimo techniką.Be fizinio garų nusodinimo pranašumų, šis metodas gali nuolat auginti bet kokio storio plėvelę griežtesnėmis kontrolės sąlygomis, žymiai pagerinti plėvelės sluoksnio kristališkumą ir orientaciją, padidinti plėvelės sluoksnio / substrato sukibimo stiprumą, pagerinti tankį. plėvelės sluoksnio, ir sintezuoti sudėtines plėveles su idealiais stechiometriniais santykiais artimoje kambario temperatūroje, įskaitant naujų tipų plėveles, kurių negalima gauti kambario temperatūroje ir slėgyje.Jonų pluošto nusodinimas ne tik išlaiko jonų implantavimo proceso privalumus, bet ir gali padengti pagrindą visiškai kitokia nei substrato plėvele.
Atliekant visų rūšių fizinį garų nusodinimą ir cheminį nusodinimą garais, galima pridėti papildomų bombardavimo jonų pistoletų rinkinį, kad būtų suformuota IBAD sistema, ir yra du bendrieji IBAD procesai, kaip parodyta paveikslėlyje:

Kaip parodyta paveikslėlyje (a), elektronų pluošto garavimo šaltinis naudojamas plėvelės sluoksniui apšvitinti jonų pluoštu, skleidžiamu iš jonų pistoleto, taip įgyvendinant jonų pluošto nusodinimą.Privalumas yra tas, kad jonų pluošto energiją ir kryptį galima reguliuoti, tačiau kaip garavimo šaltinį galima naudoti tik vieną arba ribotą lydinį arba junginį, o kiekvienas lydinio komponento ir junginio garų slėgis yra skirtingas, todėl sunku. gauti pirminės garavimo šaltinio kompozicijos plėvelės sluoksnį.
B paveikslėlyje parodytas nusodinimas naudojant jonų pluoštą, kuris taip pat žinomas kaip dvigubas jonų pluošto purškimas, kuriame kaip šaltinis naudojamas taikinys, pagamintas iš jonų pluoštą purškiančios dangos medžiagos, purškimo produktai.Nusodinant jį ant pagrindo, jonų pluošto purškimo pagalba pasiekiama apšvitinant kitu jonų šaltiniu.Šio metodo privalumas yra tas, kad pačios išpurškiamos dalelės turi tam tikrą energiją, todėl yra geresnis sukibimas su pagrindu;bet kuri taikinio sudedamoji dalis gali būti purškiama danga, bet taip pat gali būti reakcija į plėvelę, lengvai reguliuojama plėvelės sudėtis, tačiau jos nusodinimo efektyvumas yra mažas, taikinys yra brangus ir yra problemų, tokių kaip selektyvus purškimas.