Magnetroninio purškimo ir katodinės daugialankos jonų dangos kompozitinės dangos įranga gali veikti atskirai ir vienu metu;galima nusodinti ir paruošti gryno metalo plėvelę, metalo junginių plėvelę arba kompozicinę plėvelę;gali būti vieno sluoksnio plėvelė ir daugiasluoksnė kompozitinė plėvelė.
Jos pranašumai yra tokie:
Tai ne tik sujungia įvairių jonų dangų privalumus ir atsižvelgia į plonos plėvelės paruošimą ir nusodinimą įvairioms naudojimo sritims, bet taip pat leidžia nusodinti ir paruošti daugiasluoksnes monolitines plėveles arba daugiasluoksnes kompozicines plėveles tame pačiame vakuume. dengimo kamera vienu metu.
Nusodintų plėvelių sluoksnių panaudojimas yra plačiai naudojamas, jo technologijos yra įvairių formų, tipiškos šios:
(1) Nepusiausvyros magnetroninio purškimo ir katodinio jonų dengimo technologijos junginys.
Jo įrenginys parodytas taip.Tai sudėtinė koloninio magnetroninio taikinio ir plokštuminio katodinio lanko jonų dangos dengimo įranga, tinkanti tiek įrankių dengimo junginio plėvelei, tiek dekoratyvinei plėvelei dengti.Įrankių padengimui katodinio lanko jonų danga pirmiausia naudojama pagrindinio sluoksnio dangai, o tada kolonėlės magnetrono taikinys naudojamas nitrido ir kitų plėvelių sluoksniams nusodinti, kad būtų gauta didelio tikslumo apdorojimo įrankio paviršiaus plėvelė.
Dekoratyvinei dangai TiN ir ZrN dekoratyvines plėveles pirmiausia galima padengti katodiniu lanku, o tada legiruoti metalu naudojant magnetroninius taikinius, o legiravimo efektas yra labai geras.
(2) Dvigubos plokštumos magnetrono ir kolonėlės katodo lankinio jonų dengimo metodų junginys.Įrenginys parodytas taip.Jame naudojama pažangi dvigubo taikinio technologija, kai du greta esantys dvigubi taikiniai yra prijungti prie vidutinio dažnio maitinimo šaltinio, tai ne tik įveikia taikinį, atsirandantį dėl nuolatinės srovės purškimo, gaisro ir kitų trūkumų;ir gali nusodinti Al203, SiO2 oksido kokybės plėvelę, kad padidėtų ir pagerėtų padengtų dalių atsparumas oksidacijai.Vakuuminės kameros centre sumontuotas stulpelis kelių lankų taikinys, tikslinė medžiaga gali būti naudojama Ti ir Zr, ne tik norint išlaikyti aukšto kelių lankų disociacijos greičio, nusėdimo greičio pranašumus, bet ir gali veiksmingai sumažinti „lašelių“ skaičių. mažos plokštumos kelių lankų nusodinimo procesas, gali nusodinti ir paruošti mažo poringumo metalines plėveles, sudėtines plėveles.Jei Al ir Si naudojami kaip tikslinės medžiagos dviems plokštiems magnetroniniams taikiniams, sumontuotiems periferijoje, galima nusodinti ir paruošti Al203 arba Si0 metalo keramikos plėveles.Be to, periferijoje gali būti sumontuotos kelios mažos daugialankio garavimo šaltinio plokštumos, o jo tikslinė medžiaga gali būti Cr arba Ni, taip pat galima nusodinti ir paruošti metalines plėveles ir daugiasluoksnes kompozitines plėveles.Todėl ši kompozicinė dengimo technologija yra sudėtinė dengimo technologija, kurią galima pritaikyti įvairiems tikslams.
Paskelbimo laikas: 2022-11-08