CVD pārklāšanas iekārtu raksturojums

CVD pārklājuma tehnoloģijai ir šādas īpašības:

1. CVD iekārtu procesa darbība ir salīdzinoši vienkārša un elastīga, un tā var sagatavot atsevišķas vai saliktas plēves un sakausējuma plēves ar dažādām proporcijām;

2. CVD pārklājumam ir plašs pielietojums, un to var izmantot dažādu metāla vai metāla plēvju pārklājumu sagatavošanai;

3. Augsta ražošanas efektivitāte, pateicoties nogulsnēšanās ātrumam no dažiem mikroniem līdz simtiem mikronu minūtē;

4. Salīdzinot ar PVD metodi, CVD ir labāka difrakcijas veiktspēja un ir ļoti piemērota substrātu pārklāšanai ar sarežģītām formām, piemēram, rievām, pārklātiem caurumiem un pat aklo caurumu konstrukcijām.Pārklājumu var pārklāt plēvē ar labu kompaktumu.Sakarā ar augsto temperatūru plēves veidošanas procesā un spēcīgo saķeri ar plēves substrāta saskarni, plēves slānis ir ļoti stingrs

5. Radiācijas radītais kaitējums ir salīdzinoši neliels, un to var integrēt ar MOS integrālās shēmas procesiem.

——Šo rakstu publicēja Guangdong Zhenhua, avakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājs