1. Sagataves slīpums ir zems
Pievienojot ierīci jonizācijas ātruma palielināšanai, tiek palielināts izlādes strāvas blīvums un nobīdes spriegums tiek samazināts līdz 0,5 ~ 1 kV.
Tiek samazināta pretputināšana, ko izraisa pārmērīga lielas enerģijas jonu bombardēšana, un bojājuma ietekme uz sagataves virsmu.
2. Palielināts plazmas blīvums
Ir pievienoti dažādi pasākumi sadursmes jonizācijas veicināšanai, un metālu jonizācijas ātrums ir pieaudzis no 3% līdz vairāk nekā 15%.Pārklājuma kamerā tiek palielināts zoda jonu un augstas enerģijas neitrālo atomu, slāpekļa jonu, augstas enerģijas aktīvo atomu un aktīvo grupu blīvums, kas veicina savienojumu veidošanās reakciju.Iepriekš minētās dažādās uzlabotās kvēlizlādes jonu pārklājumu tehnoloģijas ir spējušas iegūt TN cietās plēves slāņus ar reakcijas nogulsnēšanos pie lielāka plazmas blīvuma, taču, tā kā tās pieder pie kvēlizlādes veida, izlādes strāvas blīvums nav pietiekami augsts (joprojām mA/cm2 līmenis ), un kopējais plazmas blīvums nav pietiekami augsts, un reakcijas nogulsnēšanās savienojuma pārklājuma process ir sarežģīts.
3. Punkta iztvaikošanas avota pārklājuma diapazons ir mazs
Dažādās uzlabotās jonu pārklājuma tehnoloģijās tiek izmantoti elektronu staru iztvaikošanas avoti un gantu kā punktveida iztvaikošanas avots, kas ir ierobežots līdz noteiktam intervālam virs gantu reakcijas nogulsnēšanai, tāpēc produktivitāte ir zema, process ir sarežģīts un ir grūti industrializēt.
4. Elektroniskā pistoles augstspiediena darbība
Elektronu pistoles spriegums ir 6 ~ 30 kV, un sagataves slīpuma spriegums ir 0,5 ~ 3 kV, kas pieder pie augstsprieguma darbības un ir noteikti drošības apdraudējumi.
——Šo rakstu publicēja Guangdong Zhenhua Technology, aoptisko pārklāšanas mašīnu ražotājs.
Ievietošanas laiks: 2023. gada 12. maijs