Ievads tradicionālajās cieto pārklājumu uzklāšanas metodēs

1. Termiskā CVD tehnoloģija

Cietie pārklājumi pārsvarā ir metālkeramikas pārklājumi (TiN u.c.), kas veidojas metālam reaģējot pārklājumā un reaktīvai gazifikācijai.Sākumā termiskā CVD tehnoloģija tika izmantota, lai nodrošinātu kombinētās reakcijas aktivācijas enerģiju ar siltumenerģiju augstā 1000 ℃ temperatūrā.Šī temperatūra ir piemērota tikai TiN un citu cieto pārklājumu uzklāšanai uz cementēta karbīda instrumentiem.Līdz šim joprojām ir svarīga tehnoloģija TiN-Al20 kompozītmateriālu pārklājumu uzklāšanai uz cementēta karbīda instrumentu galviņām.

2. Dobu katoda jonu pārklājums un karstās stieples loka jonu pārklājums

Astoņdesmitajos gados ar pārklājumu pārklātu griezējinstrumentu uzklāšanai izmantoja dobu katoda jonu pārklājumu un karstās stieples loka jonu pārklājumu.Abas šīs jonu pārklājuma tehnoloģijas ir loka izlādes jonu pārklājuma tehnoloģijas ar metāla jonizācijas ātrumu līdz 20% ~ 40%.

3. Katoda loka jonu pārklājums

Katoda loka jonu pārklājuma parādīšanās ir novedusi pie cieto pārklājumu uzklāšanas uz veidnēm tehnoloģijas attīstības.Katoda loka jonu pārklājuma jonizācijas ātrums ir 60% ~ 90%, ļaujot lielam skaitam metāla jonu un reakcijas gāzu joniem sasniegt sagataves virsmu un joprojām uzturēt augstu aktivitāti, kā rezultātā notiek reakcijas nogulsnēšanās un cietu pārklājumu veidošanās, piemēram, TiN.Pašlaik katoda loka jonu pārklājuma tehnoloģija galvenokārt tiek izmantota cieto pārklājumu uzklāšanai uz veidnēm.

Katoda loka avots ir cietvielu iztvaikošanas avots bez fiksēta kausējuma baseina, un loka avota pozīciju var patvaļīgi novietot, uzlabojot pārklājuma telpas telpas izmantošanas līmeni un palielinot krāsns iekraušanas jaudu.Katoda loka avotu formās ietilpst mazi apļveida katoda loka avoti, kolonnu loka avoti un taisnstūra plakani lieli loka avoti.Dažādas maza loka avotu, kolonnu loka avotu un lielu loka avotu sastāvdaļas var sakārtot atsevišķi, lai uzklātu daudzslāņu plēves un nano daudzslāņu plēves.Tikmēr katoda loka jonu pārklājuma augstā metāla jonizācijas ātruma dēļ metāla joni var absorbēt vairāk reakcijas gāzu, kā rezultātā ir plašs procesa diapazons un vienkārša darbība, lai iegūtu izcilus cietos pārklājumus.Tomēr pārklājuma slāņa mikrostruktūrā ir rupji pilieni, kas iegūti ar katoda loka jonu pārklājumu.Pēdējos gados ir parādījušās daudzas jaunas tehnoloģijas, lai uzlabotu plēves slāņa struktūru, kas ir uzlabojusi loka jonu pārklājuma plēves kvalitāti.

——Šo rakstu publicēja Guangdong Zhenhua Technology, aoptisko pārklāšanas mašīnu ražotājs.