Plazmas tiešās polimerizācijas process

Plazmas tiešās polimerizācijas process

Plazmas polimerizācijas process ir salīdzinoši vienkāršs gan iekšējo elektrodu polimerizācijas iekārtām, gan ārējo elektrodu polimerizācijas iekārtām, taču plazmas polimerizācijā svarīgāka ir parametru izvēle, jo parametriem ir lielāka ietekme uz polimēru plēves struktūru un veiktspēju plazmas polimerizācijas laikā.

Tiešās plazmas polimerizācijas darbības soļi ir šādi:

(1) Sūkšana

Polimerizācijas fona vakuums vakuuma apstākļos jāpumpē līdz 1,3 × 10-1 Pa.Polimerizācijas reakcijām, kurām nepieciešamas īpašas prasības skābekļa vai slāpekļa satura kontrolei, fona vakuuma prasība ir vēl lielāka.

(2) Uzlādes reakcijas monomērs vai nesējgāzes un monomēra jaukta gāze

Vakuuma pakāpe ir 13-130 Pa.Plazmas polimerizācijai, kurai nepieciešams darbs, jāizvēlas atbilstošs plūsmas kontroles režīms un plūsmas ātrums, parasti 10,100 ml/min.Plazmā monomēru molekulas tiek jonizētas un atdalītas, bombardējot enerģētiskās daļiņas, kā rezultātā veidojas aktīvas daļiņas, piemēram, joni un aktīvie gēni.Aktīvās daļiņas, ko aktivizē plazma, var pakļaut plazmas polimerizācijai gāzes fāzes un cietās fāzes saskarnē.Monomērs ir plazmas polimerizācijas prekursora avots, un ievades reakcijas gāzei un monomēram ir jābūt noteiktai tīrībai.

(3) Ierosmes barošanas avota izvēle

Plazmu var ģenerēt, izmantojot līdzstrāvas, augstfrekvences, RF vai mikroviļņu strāvas avotus, lai nodrošinātu plazmas vidi polimerizācijai.Barošanas avota izvēli nosaka, pamatojoties uz polimēra struktūras un veiktspējas prasībām.

(4) Izlādes režīma izvēle

Polimēru prasībām plazmas polimerizācija var izvēlēties divus izlādes režīmus: nepārtrauktu izlādi vai impulsu izlādi.

(5) Izplūdes parametru izvēle

Veicot plazmas polimerizāciju, ir jāņem vērā izlādes parametri, ņemot vērā plazmas parametrus, polimēra īpašības un struktūras prasības.Pielietotās jaudas lielumu polimerizācijas laikā nosaka vakuuma kameras tilpums, elektroda izmērs, monomēra plūsmas ātrums un struktūra, polimerizācijas ātrums un polimēra struktūra un veiktspēja.Piemēram, ja reakcijas kameras tilpums ir 1 l un tiek pieņemta RF plazmas polimerizācija, izlādes jauda būs diapazonā no 10 līdz 30 W.Šādos apstākļos radītā plazma var agregēties, veidojot plānu plēvi uz sagataves virsmas.Plazmas polimerizācijas plēves augšanas ātrums mainās atkarībā no barošanas avota, monomēra veida un plūsmas ātruma, kā arī procesa apstākļiem.Parasti augšanas ātrums ir 100nm/min ~ 1um/min.

(6) Parametru mērīšana plazmas polimerizācijā

Plazmas polimerizācijā mērāmie plazmas parametri un procesa parametri ir: izlādes spriegums, izlādes strāva, izlādes frekvence, elektronu temperatūra, blīvums, reakcijas grupas veids un koncentrācija utt.

——Šo rakstu publicēja Guangdong Zhenhua Technology, aoptisko pārklāšanas mašīnu ražotājs.