Vakuuma jonu pārklāšana (saīsināti jonu pārklāšana) ir jauna virsmas apstrādes tehnoloģija, kas strauji attīstījās 20. gadsimta 70. gados un kuru 1963. gadā ierosināja DM Mattox no Somdia Company Amerikas Savienotajās Valstīs. Tā attiecas uz iztvaikošanas avota vai izsmidzināšanas procesu. mērķis ir iztvaikot vai izsmidzināt plēves materiālu vakuuma atmosfērā.
Pirmais ir radīt metāla tvaikus, karsējot un iztvaicējot plēves materiālu, kas daļēji jonizējas metāla tvaikos un augstas enerģijas neitrālos atomos gāzizlādes plazmas telpā, un sasniedz substrātu, veidojot plēvi elektriskā lauka ietekmē. ;pēdējā izmanto augstas enerģijas jonus (piemēram, Ar+) bombardē plēves materiāla virsmu tā, lai izsmidzinātās daļiņas caur gāzes izlādes telpu jonizētos jonos vai augstas enerģijas neitrālos atomos un realizētu substrāta virsmu. veidot filmu.
Šo rakstu publicēja Guangdong Zhenhua, ražotājsvakuuma pārklājuma iekārtas
Izsūtīšanas laiks: 10.03.2023