Kas ir pretestības iztvaikošanas avota pārklājums?

Iztvaikošanas avota pretestības pārklājums ir pamata vakuuma iztvaikošanas pārklājuma metode.“Iztvaicēšana” attiecas uz plānslāņa sagatavošanas metodi, kurā pārklājuma materiāls vakuuma kamerā tiek uzkarsēts un iztvaicēts tā, ka materiāla atomi vai molekulas iztvaiko un izplūst no virsmas, veidojot tvaika plūsmas fenomenu, kas krīt uz virsmas. substrāts vai substrāts, un visbeidzot kondensēts, veidojot cietu plēvi.

Tā sauktā pretestības iztvaikošanas avota pārklājuma metode ir izmantot tantalu, molibdēnu, volframu un citus metālus ar augstu kušanas temperatūru, lai izveidotu atbilstošas ​​formas iztvaikošanas avotu, kas ir noslogots ar iztvaicējamiem materiāliem, ļauj gaisam plūst cauri, tieši sildīt un iztvaicē iztvaicētos materiālus vai ievieto iztvaicējamos materiālus alumīnija oksīdā, berilija oksīdā un citos tīģeļos netiešai karsēšanai un iztvaicēšanai.Šī ir pretestības karsēšanas iztvaikošanas metode.

Thevakuuma iztvaikošanas pārklāšanas mašīnasildītam un iztvaicētam ar pretestības sildītāju ir vienkāršas struktūras priekšrocības, zemas izmaksas un uzticama lietošana.To var izmantot materiālu ar zemu kušanas temperatūru iztvaikošanas pārklājumam, īpaši masveida ražošanai ar zemām prasībām attiecībā uz pārklājuma kvalitāti.Līdz šim aluminizēto spoguļu ražošanā joprojām ir izmantots liels skaits pretestības sildīšanas un iztvaikošanas pārklāšanas procesu.

Iztvaikošanas pretestības avota pārklāšanas metodes trūkumi ir tādi, ka maksimālā temperatūra, ko var sasniegt ar karsēšanu, ir ierobežota, kā arī sildītāja kalpošanas laiks ir īss.Pēdējos gados, lai uzlabotu pretestības iztvaikošanas avota kalpošanas laiku, iekārtu rūpnīca kā iztvaikošanas avotu ir pieņēmusi vadošu keramikas materiālu, kas sintezēts ar bora nitrīdu ar ilgu kalpošanas laiku.Saskaņā ar Japānas patenta ziņojumu tajā var izmantot materiālus, kas sastāv no 20% ~ 30% bora nitrīda un ugunsizturīgiem materiāliem, kurus var sakausēt ar to, lai izveidotu iztvaikošanas avotu (tīģeli), un pārklāt tā virsmu ar cirkonija slāni, kas satur 62% ~82%, un pārējie ir cirkonija-silīcija sakausējuma materiāli.