Faktiski jonu staru pārklāšanas tehnoloģija ir kompozītu tehnoloģija.Tā ir kompozītmateriāla virsmas jonu apstrādes tehnika, kas apvieno jonu implantācijas un fizikālās tvaiku pārklāšanas plēves tehnoloģiju un jauna veida jonu staru virsmas optimizācijas paņēmienu.Papildus fizikālās tvaiku pārklāšanas priekšrocībām šī metode var nepārtraukti audzēt jebkura biezuma plēvi stingrākos kontroles apstākļos, ievērojami uzlabot plēves slāņa kristāliskumu un orientāciju, palielināt plēves slāņa/substrāta adhēzijas izturību, uzlabot blīvumu. plēves slāņa un sintezēt saliktas plēves ar ideālām stehiometriskām attiecībām tuvu istabas temperatūrai, tostarp jauna veida plēves, kuras nevar iegūt istabas temperatūrā un spiedienā.Uzklāšana ar jonu staru palīdzību ne tikai saglabā jonu implantācijas procesa priekšrocības, bet arī var pārklāt substrātu ar pilnīgi atšķirīgu plēvi no pamatnes.
Visu veidu fizikālās tvaiku pārklāšanas un ķīmiskās tvaiku pārklāšanas gadījumā var pievienot papildu bombardēšanas jonu lielgabalu komplektu, lai izveidotu IBAD sistēmu, un ir divi vispārīgi IBAD procesi, kā parādīts attēlā:
Kā parādīts attēlā (a), elektronu staru iztvaikošanas avots tiek izmantots, lai apstarotu plēves slāni ar jonu staru, ko izstaro no jonu pistoles, tādējādi realizējot jonu staru palīdzību.Priekšrocība ir tāda, ka jonu staru enerģiju un virzienu var regulēt, bet kā iztvaikošanas avotu var izmantot tikai vienu vai ierobežotu sakausējumu vai savienojumu, un katrs sakausējuma komponenta un savienojuma tvaika spiediens ir atšķirīgs, kas apgrūtina to. lai iegūtu sākotnējā iztvaikošanas avota sastāva plēves slāni.
Attēlā (b) parādīta jonu staru izsmidzināšana, kas pazīstama arī kā dubultā jonu staru izsmidzināšana, kurā kā avots tiek izmantots mērķis, kas izgatavots no jonu staru izsmidzināšanas pārklājuma materiāla, izsmidzināšanas produkti.Uzklājot to uz substrāta, jonu staru izsmidzināšanas atbalstīta nogulsnēšanās tiek panākta, apstarojot ar citu jonu avotu.Šīs metodes priekšrocība ir tāda, ka pašām izsmidzinātajām daļiņām ir noteikta enerģija, tāpēc ir labāka saķere ar pamatni;Jebkurš mērķa komponents var būt izsmidzināts pārklājums, bet var būt arī reakcijas izsmidzināšana plēvē, viegli regulējams plēves sastāvs, taču tās nogulsnēšanas efektivitāte ir zema, mērķis ir dārgs un pastāv tādas problēmas kā selektīva izsmidzināšana.
Izlikšanas laiks: Nov-08-2022