Magnetronu izsmidzināšanas un katoda daudzloku jonu pārklājuma kompozītmateriālu pārklājuma iekārtas var darboties atsevišķi un vienlaikus;var uzklāt un sagatavot tīru metāla plēvi, metāla savienojumu plēvi vai kompozītplēvi;var būt viena slāņa plēve un daudzslāņu kompozītmateriāla plēve.
Tās priekšrocības ir šādas:
Tas ne tikai apvieno dažādu jonu pārklājumu priekšrocības un ņem vērā plānās kārtiņas sagatavošanu un uzklāšanu dažādām pielietojuma jomām, bet arī ļauj vienā vakuumā uzklāt un sagatavot daudzslāņu monolītās plēves vai daudzslāņu kompozītmateriālu plēves. pārklājuma kamera vienā reizē.
Uzklāto plēvju slāņu pielietojumi tiek plaši izmantoti, to tehnoloģijas ir dažādas, tipiskās šādas:
(1) Nelīdzsvara magnetronu izsmidzināšanas un katoda jonu pārklāšanas tehnoloģijas savienojums.
Tās ierīce ir parādīta šādi.Tā ir kolonnu magnetrona mērķa un plakanā katoda loka jonu pārklājuma saliktā pārklājuma iekārta, kas ir piemērota gan instrumentu pārklājuma savienojumu plēvei, gan dekoratīvās plēves pārklājumam.Instrumentu pārklāšanai katoda loka jonu pārklājumu vispirms izmanto pamatslāņa pārklājumam, un pēc tam kolonnas magnetrona mērķi izmanto nitrīda un citu plēvju slāņu nogulsnēšanai, lai iegūtu augstas precizitātes apstrādes instrumenta virsmas plēvi.
Dekoratīvajam pārklājumam TiN un ZrN dekoratīvās plēves vispirms var uzklāt ar katoda loka pārklājumu un pēc tam leģēt ar metālu, izmantojot magnetrona mērķus, un dopinga efekts ir ļoti labs.
(2) Divplaknes magnetrona un kolonnas katoda loka jonu pārklāšanas tehnikas savienojums.Ierīce ir parādīta šādi.Tiek izmantota uzlabotā dvīņu mērķa tehnoloģija, kad divi blakus esošie dvīņu mērķi ir savienoti ar vidējas frekvences barošanas avotu, tas ne tikai pārvar saindēšanos ar līdzstrāvas izsmidzināšanu, ugunsgrēku un citiem trūkumiem;un var uzklāt Al203, SiO2 oksīda kvalitātes plēvi, lai pārklāto detaļu oksidācijas pretestība būtu palielinājusies un uzlabojusies.Kolonnu daudzloku mērķis, kas uzstādīts vakuuma kameras centrā, mērķa materiālu var izmantot Ti un Zr, ne tikai lai saglabātu priekšrocības, ko sniedz augsta daudzloku disociācijas ātrums, nogulsnēšanās ātrums, bet arī var efektīvi samazināt "pilienu" daudzumu mazas plaknes daudzloku mērķa nogulsnēšanas process, var nogulsnēt un sagatavot metāla plēves, saliktas plēves ar zemu porainību.Ja Al un Si tiek izmantoti kā mērķa materiāli diviem plakanajiem magnetrona mērķiem, kas uzstādīti perifērijā, Al203 vai Si0 metālkeramikas plēves var nogulsnēt un sagatavot.Turklāt perifērijā var uzstādīt vairākas mazas vairāku loku iztvaikošanas avota plaknes, un tā mērķa materiāls var būt Cr vai Ni, un var uzklāt un sagatavot metāla plēves un daudzslāņu kompozītmateriālu plēves.Tāpēc šī kompozītmateriālu pārklājuma tehnoloģija ir kompozītmateriālu pārklājuma tehnoloģija ar vairākiem pielietojumiem.
Izlikšanas laiks: Nov-08-2022