1. Izsmidzināšanas pārklājuma īpašības
Salīdzinot ar parasto vakuuma iztvaikošanas pārklājumu, izsmidzināšanas pārklājumam ir šādas īpašības:
(1) Var izsmidzināt jebkuru vielu, īpaši augstu kušanas temperatūru, zemu tvaika spiediena elementus un savienojumus.Ja vien tas ir ciets materiāls, vai tas ir metāls, pusvadītājs, izolators, savienojums un maisījums utt., Vai tas ir bloks, granulētu materiālu var izmantot kā mērķa materiālu.Tā kā, izsmidzinot izolācijas materiālus un sakausējumus, piemēram, oksīdus, notiek neliela sadalīšanās un frakcionēšana, tāpēc tās var izmantot, lai sagatavotu plānas plēves un sakausējuma plēves ar vienādām sastāvdaļām, kas ir līdzīgas mērķa materiāla komponentiem, un pat supravadošas plēves ar sarežģītu sastāvu. reaktīvās izsmidzināšanas metodi var izmantot arī tādu savienojumu plēves ražošanai, kas pilnīgi atšķiras no mērķa materiāla, piemēram, oksīdiem, nitrīdiem, karbīdiem un silicīdiem.
(2) Laba saķere starp izsmidzināto plēvi un pamatni.Tā kā izsmidzināto atomu enerģija ir par 1-2 kārtām lielāka nekā iztvaicēto atomu enerģija, uz substrāta nogulsnētu augstas enerģijas daļiņu enerģijas pārveide rada lielāku siltumenerģiju, kas uzlabo izsmidzināto atomu saķeri ar substrātu.Daļa augstas enerģijas izsmidzināto atomu tiks ievadīti dažādās pakāpēs, veidojot tā saukto pseidodifūzijas slāni uz substrāta, kur izsmidzinātie atomi un substrāta materiāla atomi "sajaucas" viens ar otru.Turklāt izsmidzināšanas daļiņu bombardēšanas laikā substrāts vienmēr tiek attīrīts un aktivizēts plazmas zonā, kas noņem slikti pielipušos izgulsnētos atomus, attīra un aktivizē substrāta virsmu.Tā rezultātā ievērojami uzlabojas izsmidzinātās plēves slāņa saķere ar pamatni.
(3) Augsts izsmidzināšanas pārklājuma blīvums, mazāk caurumu un augstāka plēves slāņa tīrība, jo nav tīģeļa piesārņojuma, kas ir neizbēgami, veicot vakuuma tvaiku nogulsnēšanos izsmidzināšanas pārklāšanas procesā.
(4) Laba plēves biezuma vadāmība un atkārtojamība.Tā kā izlādes strāvu un mērķa strāvu var kontrolēt atsevišķi izsmidzināšanas pārklājuma laikā, plēves biezumu var kontrolēt, kontrolējot mērķa strāvu, tādējādi plēves biezuma vadāmība un plēves biezuma reproducējamība ar izsmidzināšanas pārklājuma daudzkārtēju izsmidzināšanu ir laba. , un iepriekš noteikta biezuma plēvi var efektīvi pārklāt.Turklāt uzputināšanas pārklājums var iegūt vienmērīgu plēves biezumu lielā platībā.Tomēr vispārējai izsmidzināšanas pārklāšanas tehnoloģijai (galvenokārt dipola izsmidzināšanai) iekārta ir sarežģīta un prasa augstspiediena ierīci;plēves veidošanās ātrums izsmidzināšanas nogulsnēšanā ir zems, vakuuma iztvaikošanas nogulsnēšanās ātrums ir 0,1–5 nm/min, savukārt izsmidzināšanas ātrums ir 0,01–0,5 nm/min;substrāta temperatūras paaugstināšanās ir augsta un neaizsargāta pret piemaisījumu gāzēm utt. Tomēr, pateicoties RF izsmidzināšanas un magnetronu izsmidzināšanas tehnoloģijas attīstībai, ir panākts liels progress ātras uzputināšanas nogulsnēšanās panākšanā un substrāta temperatūras pazemināšanā.Turklāt pēdējos gados tiek pētītas jaunas izsmidzināšanas pārklāšanas metodes, kuru pamatā ir plakanā magnetrona izsmidzināšana, lai samazinātu izsmidzināmā gaisa spiedienu līdz nulles spiediena izputināšanai, kur ieplūdes gāzes spiediens uzputināšanas laikā būs nulle.
Izlikšanas laiks: Nov-08-2022