1. Sobika fanadiovana baomba
1.1) Ny milina famenoana sputtering dia mampiasa famirapiratana mba hanadiovana ny substrate.Izany hoe, ampidiro ao amin'ny efitrano ny gazy argon, manodidina ny 1000V ny famatsiana herinaratra, aorian'ny famelomana ny famatsiana herinaratra, dia misy tsiranoka mipoitra, ary ny substrate dia diovina amin'ny baomba argon ion.
1.2) Ao amin'ny milina fanasan-damba izay mamokatra haingo avo lenta amin'ny indostria, ny ion titane avoakan'ny loharano kely dia ampiasaina amin'ny fanadiovana.Ny milina famenoana sputtering dia fitaovana amin'ny loharano arc kely, ary ny renirano ion titane ao amin'ny plasma arc nateraky ny fivoahana loharano arc kely dia ampiasaina amin'ny baomba sy ny fanadiovana ny substrate.
2. Titanium nitride coating
Rehefa mametraka sarimihetsika manify titane nitride, ny fitaovana kendrena ho an'ny sputtering dia titane kendrena.Ny fitaovana kendrena dia mifandray amin'ny electrode ratsy ny famatsiana herinaratra sputtering, ary ny lasibatra malefaka dia 400 ~ 500V;Ny flux argon dia raikitra, ary ny vacuum fanaraha-maso dia (3 ~ 8) x10-1PA.Ny substrate dia mifandray amin'ny electrode ratsy amin'ny famatsiana herinaratra mitongilana, miaraka amin'ny voltase 100 ~ 200V.
Aorian'ny famelomana ny famatsiana herinaratra amin'ny kendrena titane mipoitra, dia mipoitra ny famirapiratana, ary ny ion argon mahery vaika dia manapoaka baomba ny kendrena mipoitra, mandroaka atoma titane avy amin'ny kendrena.
Ampidirina ny azota entona fanehoan-kevitra, ary ny atôma titane sy ny azota dia voahidy ho ion titane sy ion azota ao amin'ny efitrano fanosotra.Eo ambanin'ny fanintonana ny sahan-jiro mitongilana ratsy ampiharina amin'ny substrate, ny ion titane sy ny ion azota dia manafaingana ny eny ambonin'ny substrate ho an'ny fanehoan-kevitra simika sy ny deposition mba hamoronana sarimihetsika titane nitride.
3. Esory ny substrate
Rehefa tonga amin'ny hatevin'ny sarimihetsika efa voafaritra mialoha, vonoy ny famatsiana herinaratra sputtering, famatsiana herinaratra mitongilana substrate, ary loharanon-drivotra.Rehefa ambany ny mari-pana amin'ny substrate noho ny 120 ℃, fenoy rivotra ny efitrano fametahana ary esory ny substrate.
Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nymagnetron sputtering coating mpanamboatra milina- Guangdong Zhenhua.
Fotoana fandefasana: Apr-07-2023