Ny dingan'ny hollow cathode ion coating dia toy izao manaraka izao:
1. Apetaho ao anaty lafaoro ny akorandriaka Chin.
2. Fametrahana ny workpiece.
3, Rehefa avy nifindra tany amin'ny 5 × 10-3Pa, argon entona dia nampidirina ao amin'ny coating efitra avy amin'ny volafotsy fantsona, ary ny banga haavon'ny dia manodidina 100Pa.
4. Ampidiro ny herin'ny bias.
5 、 Rehefa avy mamadika ny herin'ny Arc mba handrehitra ny fivoahan'ny cathode hollow.Ny fivoahan'ny hazavana dia miteraka ao amin'ny fantsona bokotra, Ny volavolan-tseranana dia 800 ~ 1000V, Ny fiakaran'ny arc dia 30 ~ 50A. Noho ny vokatry ny glow cathode hollow ny fivoahana, ny hakitroky ny famirapiratana avo amin'izao fotoana izao, Ny hakitroky ny voalavo ion ao amin'ny fantsom-bolafotsy dia mandoro ny rindrin'ny fantsona vantage, Ataovy haingana ny rindrin'ny fantsona amin'ny famoahana ny fikorianan'ny elektrônika, ny fomba fivoahana avy amin'ny fiposahan'ny hazavana fiovana tampoka ho Arc fivoahana, Voltage dia 40 ~ 70V, Amin'izao fotoana izao dia 80 ~ 300A.Silver fantsona hafanana mahatratra mihoatra ny 2300K, Incandescent, Emits avo hakitroky ny arc elektronika avy amin'ny fantsona, ary nitifitra ny anode.
6, Fanitsiana ny banga haavon'ny.The banga haavon'ny famirapiratana mivoaka avy amin'ny poakaty cathode basy dia tokony ho 100 Pa, Ary ny banga ambaratonga ny coating dia 8 × 10-1 ~ 2Pa. Noho izany, rehefa avy ignition ny Arc fivoahana, Ahena ny argon tonga entona haingana araka izay azo atao, Ahitsio ny haavon'ny banga amin'ny faritra mety amin'ny coating.
7, Titanium nopetahana fototra layer.Electron mikoriana eo amin'ny anodically nirodana Chin metaly ingot, Fiovam-po ny kinetic angovo angovo mafana, Evaporation ny Chin vy amin'ny alalan'ny fanafanana, etona atoma tonga ny workpiece mba hamorona titane sarimihetsika.
8, Deposition ny TiN. Nitrogen entona no omena ny coating efitra, ny entona azota sy etona atoma dia ionized ho azota sy titane ions. Above ny crucible, ambony kokoa ny mety ho inelastic fifandonan'ny titane etona atoma amin'ny mikitroka renirano ny ambany angovo elektronika, Ny tahan'ny dissociation vy dia avo toy ny 20% ~ 40%., Titanium ions dia mety hihetsika ara-tsimika amin'ny entona azota fanehoan-kevitra, Deposition mba hahazoana ny nitride mantle film layer.The hollow cathode basy dia samy loharano vaporization, Loharano iray hafa. ny ionization. Nandritra ny coating, ny rivotry ny electromagnetic coil manodidina ny crucible koa dia tokony hanitsy, fifantohana ny electron taratra eo afovoan'ny firodanany, Noho izany, ny hery hakitroky ny electron fikorianan'ny nitombo.
9, Power Off.After ny sarimihetsika hatevin'ny tonga amin'ny efa voafaritra ny hatevin'ny sarimihetsika, Vonoy Arc hery famatsiana, Bias famatsiana herinaratra sy ny rivotra.
Fotoana fandefasana: Jul-08-2023