Ny dingan'ny fametahana ion loharanon'ny cathodic arc dia mitovy amin'ny teknolojia coating hafa, ary tsy miverimberina intsony ny asa sasany toy ny fametrahana workpieces sy ny fanadiovana.
1. Fanadiovana baomba ny workpieces
Alohan'ny famenoana dia ampidirina ao anaty efi-trano fanosotra ny gazy argon miaraka amin'ny vacuum 2 × 10-2Pa.
Ampidiro ny famatsiana herinaratra mitongilana pulse, miaraka amin'ny fihodinan'ny adidy 20% ary ny fitongilanana amin'ny workpiece 800-1000V.
Rehefa mihodina ny herin'ny arc, dia misy fivoahana hazavana arc amin'ny saha mangatsiaka, izay mamoaka elektronika elektronika be dia be sy ion titane avy amin'ny loharano arc, mamorona plasma avo lenta.Ny titane ion accelerates ny tsindrona ho any amin'ny workpiece eo ambanin'ny tosidra ambony mitongilana ratsy ampiharina amin'ny workpiece, baomba sy sputtering ny sisa entona sy ny loto adsorbed eo ambonin'ny workpiece, ary manadio sy manadio ny ambonin'ny workpiece;Mandritra izany fotoana izany, ny entona klôro ao amin'ny efi-trano coating dia ionized amin'ny alalan'ny elektronika, ary ny argon ions manafaingana ny daroka baomba ny workpiece ambonin'ny.
Noho izany, ny vokatry ny fanadiovana baomba dia tsara.1 minitra eo ho eo amin'ny fanadiovana baomba ihany no afaka manadio ny fitaovana, izay antsoina hoe "main arc bombardment".Noho ny habetsahan'ny titane ion, raha misy loharano arc kely ampiasaina mba hanapoahana baomba sy hanadio ny workpiece ela loatra, ny mari-pana ny workpiece dia mora ny overheating, ary mety ho malefaka ny sisiny fitaovana.Amin'ny famokarana ankapobeny, ny loharano arc kely dia mihodina tsirairay avy any ambony ka hatrany ambany, ary ny loharanon'ny arc kely tsirairay dia manana fotoana fanadiovana baomba eo amin'ny 1 minitra.
(1) Coating titane ambany sosona
Mba hanatsarana ny adhesion eo amin'ny sarimihetsika sy ny substrate, ny sosona ny titane substrate madio dia matetika mifono alohan'ny coating titane nitride.Ampifanaraho ny haavon'ny banga amin'ny 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, amboary ny volavolan-tsarimihetsika mitongilana amin'ny 400-500V, ary ampifanaraho amin'ny 40% ~ 50%.Mbola mandrehitra loharanon-tsarimihetsika kely tsirairay mba hamokatra fivoahana arcing saha.Noho ny fihenan'ny tosidra mitongilana ratsy amin'ny workpiece dia mihena ny angovon'ny ion titane.Rehefa tonga any amin'ny workpiece, ny sputtering vokany dia kely noho ny deposition vokany, ary ny titane tetezamita sosona miforona eo amin'ny workpiece mba hanatsarana ny fatorana hery eo amin'ny titane nitride sarimihetsika mafy sosona sy ny substrate.Ity dingana ity ihany koa ny dingan'ny fanafanana ny workpiece.Rehefa avoaka ny tanjona titane madio dia manga manga ny hazavana ao amin'ny plasma.
1. Ammoniated vilia baolina mafy coating
Ampifanaraho amin'ny 3 × 10 ny haavon'ny banga-1-5Pa, hanitsy ny workpiece fitongilanana malefaka ny 100-200V, ary hanitsy ny adidy tsingerin'ny ny pulse fitongilanana hery famatsiana ho 70% ~ 80%.Aorian'ny fampidirana azota, ny titane dia fanehoan-kevitra mitambatra miaraka amin'ny ranon-dra mivoaka amin'ny alàlan'ny fametrahana sarimihetsika mafy titanium nitride.Amin'izao fotoana izao, ny jiron'ny plasma ao amin'ny efitrano banga dia mena serizy.Raha C2H2, O2, sns. dia ampidirina, TiCN, TiO2, sns. azo alaina ny sosona sarimihetsika.
–Navoakan'i Guangdong Zhenhua, ampanamboatra milina coating banga
Fotoana fandefasana: Jun-01-2023