1, Fiforonan'ny kapoaky ny metaly eo amin'ny tany kendrena
Aiza ny fitambarana miforona ao anatin'ny dingan'ny fananganana fitambarana avy amin'ny faritra kendrena metaly amin'ny alalan'ny fizotry ny sputtering?Koa satria ny fanehoan-kevitra simika eo amin'ny poti-gazy mihetsiketsika sy ny atôma eny ambonin'ny kendrena dia mamokatra atôma mitambatra, izay matetika exothermic, ny hafanana fanehoan-kevitra dia tsy maintsy manana fomba entina mivoaka, raha tsy izany dia tsy afaka mitohy ny fanehoan-kevitra simika.Amin'ny toe-javatra banga, tsy azo atao ny famindrana hafanana eo anelanelan'ny entona, noho izany dia tsy maintsy atao amin'ny toerana mafy ny fanehoan-kevitra simika.Ny fikorianan'ny fanehoan-kevitra dia miteraka kapoka eo amin'ny faritra kendrena, ny substrate surface, ary ny lafiny ara-drafitra hafa.Ny famokarana kapoka eo ambonin'ny substrate no tanjona, fandaniam-bola ny famokarana kapoka amin'ny sehatra ara-drafitra hafa, ary ny famokarana kapoka eo amin'ny faritra kendrena dia manomboka ho loharanon'ny ataoma mitambatra ary lasa sakana amin'ny fanomezana atôma mitambatra bebe kokoa.
2, Ny fiantraikan'ny fanapoizinana kendrena
Ny anton-javatra lehibe misy fiantraikany amin'ny fanapoizinana kendrena dia ny tahan'ny entona mihetsika sy ny entona mipoitra, ny entona fanehoan-kevitra be loatra dia hitarika ho amin'ny fanapoizinana kendrena.Ny fizotran'ny sputtering mihetsiketsika dia atao ao amin'ny faritry ny fantsona sputtering amin'ny faritra kendrena izay toa voasaron'ny fitambaran'ny fanehoan-kevitra na nesorina ny fitambaran'ny fanehoan-kevitra ary naverina navoakan'ny metaly.Raha lehibe kokoa noho ny tahan'ny fanalana ny fitambarana ny tahan'ny famokarana fitambarana, dia mitombo ny velaran'ny fandrakofana iombonana.Amin'ny hery sasany dia mitombo ny habetsahan'ny entona fanehoan-kevitra tafiditra amin'ny famokarana fitambarana ary mitombo ny tahan'ny famokarana mifangaro.Raha mitombo be ny habetsahan'ny entona fanehoan-kevitra, dia mitombo ny faritry ny fandrakofana.Ary raha tsy azo amboarina ara-potoana ny tahan'ny fikorianan'ny entona, dia tsy voasakana ny tahan'ny fitomboan'ny faritra fandrakofana, ary ny fantsona sputtering dia ho voasaron'ny fitambarana, rehefa voarakotry ny fitambarana tanteraka ny kendrena sputtering, ny kendrena dia voapoizina tanteraka.
3, tranga fanapoizinana tanjona
(1) tsara fanangonan-karena ion: rehefa ny kendrena fanapoizinana, sosona ny insulating sarimihetsika ho miforona eo amin'ny kendrena ambonin'ny, tsara ions tonga ny cathode kendrena ambonin'ny noho ny fanakanana ny insulating sosona.Tsy miditra mivantana ny cathode lasibatra ambonin'ny, fa miangona eo amin'ny kendrena ambonin'ny, mora ny hamokatra mangatsiaka saha ho arc discharge - arcing, ka tsy afaka mandeha ny cathode sputtering.
(2) fanjavonan'ny anode: rehefa misy fanapoizinana kendrena, rindrin'ny efitrano banga miorim-paka ihany koa dia nametraka sarimihetsika insulating, tsy afaka miditra ao amin'ny anode ny elektronika anode, ny fananganana trangan-javatra fanjavonana anode.
4, Fanazavana ara-batana momba ny fanapoizinana kendrena
(1) Amin'ny ankapobeny, avo kokoa noho ny an'ny metaly ny coefficient emission electron faharoa amin'ny fitambarana metaly.Taorian'ny fanapoizinana kendrena, ny etỳ ambonin'ny kendrena dia metaly rehetra, ary rehefa voadaroka tamin'ny baomba ion, dia mitombo ny isan'ny elektrôna faharoa navoaka, izay manatsara ny fitondran'ny habaka sy mampihena ny impedance plasma, izay mitarika ho amin'ny fihenan'ny sputtering.Mampihena ny tahan'ny sputtering izany.Amin'ny ankapobeny dia eo anelanelan'ny 400V-600V ny fanerena ny magnetron sputtering, ary rehefa mitranga ny fanapoizinana kendrena, dia mihena be ny volan'ny sputtering.
(2) Ny lasibatra metaly sy ny kendrena amin'ny voalohany dia tsy mitovy, amin'ny ankapobeny ny coefficient sputtering amin'ny metaly dia ambony noho ny coefficient sputtering ny fitambarana, noho izany dia ambany ny tahan'ny sputtering aorian'ny fanapoizinana kendrena.
(3) Ny fahombiazan'ny sputtering amin'ny entona mihetsiketsika dia ambany noho ny fahombiazan'ny entona inert, noho izany dia mihena ny tahan'ny sputtering feno rehefa mitombo ny ampahany amin'ny entona mihetsika.
5, Vahaolana ho an'ny fanapoizinana kendrena
(1) Raiso ny famatsiana herinaratra antonony na famatsiana herinaratra matetika amin'ny onjam-peo.
(2) Raiso ny fifehezana mihidy amin'ny fidiran'ny entona mihetsika.
(3) Manaova tanjona kambana
(4) Mifehy ny fanovana ny coating fomba: Alohan'ny coating, ny hysteresis vokatry curve ny kendrena fanapoizinana dia nangonina ka ny inlet rivotra mikoriana dia voafehy eo anoloan'ny famokarana kendrena fanapoizinana mba hahazoana antoka fa ny dingana dia foana ny fomba alohan'ny deposition midina be ny taha.
–Ity lahatsoratra ity dia navoakan'ny Guangdong Zhenhua Technology, mpanamboatra fitaovana fametahana banga.
Fotoana fandefasana: Nov-07-2022