Ny fitsipiky ny vacuum evaporation coating
1, fitaovana sy dingana ara-batana ny banga evaporation coating
Ny fitaovana fametahana etona amin'ny vacuum dia ahitana efitrano banga sy rafitra fandroahana.Ao anatin'ny efitrano banga dia misy loharano etona (izany hoe evaporation heater), substrate sy substrate frame, substrate heater, exhaust system, sns.
Ny fitaovana coating dia apetraka ao amin'ny loharano etona ao amin'ny efitrano banga, ary eo ambanin'ny toe-javatra banga avo, dia nafanaina avy amin'ny loharano etona mba hihena.Raha ny salan'isa maimaim-poana amin'ny molekiolan'ny etona dia lehibe kokoa noho ny haben'ny efitrano banga, taorian'ny nandosiran'ny atôma sy ny molekiolan'ny etona sarimihetsika avy amin'ny etona loharanon'ny etona, dia zara raha voasakana ny fifandonan'ny molekiola na atôma hafa, ary tonga mivantana eny ambonin`ny substrate ho coating.Noho ny mari-pana ambany amin'ny substrate, ny vovon-tsavony amin'ny sarimihetsika dia mipoitra eo aminy ary mamorona sarimihetsika.
Mba hanatsarana ny adhesion ny etona molekiola sy ny substrate, ny substrate dia azo mavitrika amin'ny fanafanana mety na ion fanadiovana.Ny coating vacuum evaporation dia mandalo amin'ireto dingana ara-batana manaraka ireto manomboka amin'ny etona ara-materialy, ny fitaterana mankany amin'ny fametrahana ao anaty sarimihetsika.
(1) Amin'ny fampiasana fomba isan-karazany hanovana endrika angovo hafa ho angovo mafana, ny akora sarimihetsika dia mafana mba hihena na hihena ho poti-gazy (atôma, molekiola na cluster atomika) miaraka amin'ny angovo (0.1 hatramin'ny 0.3 eV).
(2) Ny poti-gazy dia miala amin'ny endriky ny sarimihetsika ary entina eny ambonin'ny substrate amin'ny hafainganam-pandehan'ny fihetsiketsehana, indrindra tsy misy fifandonana, amin'ny tsipika mahitsy.
(3) Ny poti-gazety tonga eny ambonin'ny substrate dia mitambatra sy niokleary, ary avy eo dia mitombo ho sarimihetsika matevina.
(4) Fanavaozana na fatorana simika amin'ireo atôma mandrafitra ilay sarimihetsika.
2, fanafanana etona
(1) fanoherana fanafanana etona
Ny etona fanafanana fanoherana no fomba tsotra indrindra sy matetika ampiasaina amin'ny fanafanana, amin'ny ankapobeny dia azo ampiharina amin'ny fitaovana fametahana amin'ny teboka miempo eo ambanin'ny 1500 ℃, metaly avo lenta amin'ny endrika tariby na taratasy (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, sns.) matetika atao amin'ny endrika mety amin'ny etona loharano, feno fitaovana etona, amin'ny alalan'ny Joule hafanan'ny herinaratra ankehitriny mba hiempo, etona na sublimate ny plating fitaovana, ny endriky ny etona loharano indrindra dia ahitana miolakolaka multi-strand, miendrika U, sine onja , lovia manify, sambo, cone harona, sns Amin'izay fotoana izay, ny fomba dia mitaky ny etona loharanon'ny fitaovana mba manana avo lenta, ambany saturation etona fanerena, marin-toerana simika fananana, tsy misy simika fanehoan-kevitra amin'ny coating fitaovana amin'ny hafanana ambony, tsara hafanana fanoherana, fiovana kely eo amin'ny hery hakitroky, sns Mandany avo amin'izao fotoana izao amin'ny alalan'ny etona loharano mba hampafana azy sy ny etona ny sarimihetsika fitaovana amin'ny alalan'ny fanafanana mivantana, na hametraka ny sarimihetsika fitaovana ao amin'ny crucible vita amin'ny graphite sy ny mari-pana ambony sasany mahatohitra. oxides metaly (toy ny A202, B0) sy fitaovana hafa ho an'ny fanafanana ankolaka mba ho lasa etona.
Misy fetrany ny coating evaporation fanafanana fanoherana: ny metaly refractory dia manana tsindry etona ambany, izay sarotra ny manamboatra sarimihetsika manify;ny singa sasany dia mora ny mamorona firaka amin`ny tariby fanafanana;tsy mora ny mahazo fitambarana fanamiana ny sarimihetsika firaka.Noho ny rafitra tsotra, ny vidiny ambany sy ny fampandehanana mora ny fanoherana fanafanana etona fomba, dia tena mahazatra fampiharana ny fomba etona.
(2) Etona fanafanana taratra electron
Ny fandotoana ny taratra elektrôna dia fomba iray amin'ny fandotoana ny akora fanosotra amin'ny alàlan'ny daroka baomba azy amin'ny taratra elektronika avo lenta amin'ny alàlan'ny fametrahana azy ao anaty vilia varahina mangatsiaka rano.Ny loharanon'ny evaporation dia misy loharanom-pamokarana elektronika, loharanon-kery manafaingana ny elektronika, koveta (matetika koveta varahina), coil sahan'andriamby, ary fametrahana rano mangatsiaka, sns. Amin'ity fitaovana ity dia apetraka ao anaty rano ny fitaovana mafana. -koba mangatsiatsiaka, ary ampahany kely amin'ny akora ihany no baomba ny taratra elektronika, fa ny ankamaroan'ny akora sisa tavela dia mijanona amin'ny hafanana ambany dia ambany eo ambanin'ny fiantraikan'ny fangatsiahana, izay azo raisina ho toy ny ampahany voadaroka amin'ny crucible.Noho izany, ny fomba fanafanana taratra elektronika ho etona dia afaka misoroka ny loto eo amin'ny coating fitaovana sy ny etona loharanon-karena.
Ny firafitry ny loharanom-etona elektrôna taratra dia azo zaraina ho telo karazana: basy mahitsy (Boules basy), peratra basy (elektronika deflected) ary e-basy (magnetically deflected).Ny koba iray na maromaro dia azo apetraka ao amin'ny toeram-pivoahana etona, izay afaka mandona sy mametraka akora maro samihafa miaraka na misaraka.
Ny loharanon'ny etona taratra elektrôna dia manana tombony manaraka.
①Ny hakitroky ny taratra avo ny loharanon'ny etona baomba baomba elektronika dia afaka mahazo hakitroky angovo lavitra kokoa noho ny loharano fanafanana fanoherana, izay afaka etona fitaovana avo lenta, toy ny W, Mo, Al2O3, sns.
②Ny fitaovana coating dia apetraka ao anaty vilia varahina mangatsiatsiaka amin'ny rano, izay afaka misoroka ny etona ny fitaovana loharanon'ny etona, ary ny fihetsik'izy ireo.
③Ny hafanana dia azo ampiana mivantana eo amin'ny endrik'ilay akora fanosotra, izay mahatonga ny fahombiazan'ny hafanana ambony ary ny fahaverezan'ny fampitaovana hafanana sy ny taratra hafanana ambany.
Ny tsy fahampian'ny fomba fandoroana ny taratra elektronika dia ny elektronika voalohany avy amin'ny basy elektrôna sy ny elektronika faharoa avy amin'ny etỳ ambonin'ny akora fanosotra dia ionize ny atoma etona sy ny molekiola entona sisa, izay hisy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny sarimihetsika indraindray.
(3) High frequency induction fanafanana etona
Ny etona fanafanana induction induction avo lenta dia ny fametrahana ny koveta miaraka amin'ny fitaovana fametahana eo afovoan'ny coil miolikolika avo lenta, ka ny akora fanosotra dia miteraka vokatra mahery vaika sy hysteresis eo ambanin'ny induction ny saha elektromagnetika avo lenta, izay mahatonga ny film sosona mba hafanaina mandra-etona sy etona.Ny loharanon'ny etona amin'ny ankapobeny dia misy coil avo lenta avo lenta amin'ny rano ary grafita na seramika (oksida magnesium, oksida aluminium, oksida boron, sns.).Ny famatsiana herinaratra avo lenta dia mampiasa matetika 10.000 ka hatramin'ny 100.000 Hz, ny herin'ny fidirana dia kilowatts maromaro ka hatramin'ny zato, ny kely kokoa ny habetsaky ny fitaovana membrane, ny avo kokoa ny induction matetika.Ny fatran'ny induction coil dia matetika vita amin'ny fantsona varahina mangatsiaka.
Ny tsy fahampian'ny fomba fanamainana induction avo lenta dia tsy mora ny manitsy tsara ny herin'ny fampidirana, manana tombony manaraka izy.
①Avo ny tahan'ny etona
②Ny mari-pana amin'ny loharanon'ny etona dia fanamiana sy miorina tsara, noho izany dia tsy mora ny mamokatra ny fisehoan-javatra amin'ny fiparitahan'ny ranon-tsavony, ary afaka misoroka ny fisehoan'ny pinholes amin'ny sarimihetsika napetraka.
③Ny loharano etona dia feno indray mandeha, ary ny mari-pana dia somary mora sy mora ny mifehy.
Fotoana fandefasana: Oct-28-2022