Ko nga taputapu e whakauru ana i te hangarau o te magnetron sputtering me te hangarau paninga katote, me te whakarato i tetahi otinga mo te whakapai ake i te riterite o te tae, te tere o te tuku me te pumau o te hanganga puhui.E ai ki nga whakaritenga hua rereke, ka taea te kowhiri i te punaha whakamahana, te punaha rītaha, te punaha ionization me etahi atu taputapu.Ko te paninga kua oti te whakarite e nga taputapu he painga o te piri kaha me te whakahiato teitei, ka taea te whakapai ake i te parenga rehu tote, te whakakakahu me te pakeke o te mata o te hua, me te whakatutuki i nga whakaritenga o te whakarite whakakikorua teitei.
Ko nga taputapu whakakikorua whakamatautau kei te nuinga o te waa e whakamahia ana i roto i nga whare wananga me nga whare rangahau putaiao, ka taea te whakatutuki i nga momo whakaritenga whakamatautau.He maha nga whaainga hanganga kua rahuitia mo nga taputapu, ka taea te whirihora ngawari ki te whakatutuki i nga rangahau rangahau me te whakawhanaketanga i nga waahi rereke.Pūnaha whakaetonga aukumetere, pūnaha pewa cathode, pūnaha whakaetonga kurupae irahiko, pūnaha whakaetonga ātete, CVD, PECVD, puna katote, pūnaha rītaha, pūnaha whakawera, taputapu toru-ahu, etc.Ka taea e nga kaihoko te kowhiri i runga i o raatau hiahia rereke.
Ko nga taputapu ko nga ahuatanga o te ahua ataahua, te hanganga kiato, te waahi iti o te papa, te teitei o te automation, te mahi ngawari me te ngawari, te mahi pumau me te ngawari o te tiaki.
Ka taea te whakamahi i nga taputapu ki te kowiri tira, te taputapu hiko / nga waahanga kirihou, te karaihe, te karaera me etahi atu mea.Ko nga paparanga whakarewa ngawari penei i te titanium, te chromium, te hiriwa, te parahi, nga kiriata whakarewa ranei penei i te TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC ka taea te whakarite.Ka taea e ia te whakatutuki i te pango pouri, te koura oumu, te koura koura, te koura tauira, te koura zirconium, te sapphire puru, te hiriwa kanapa me etahi atu tae.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |