1) He teitei ake te whakamahi o nga whaainga porotakaroa i nga whaainga mahere.I roto i te tukanga paninga, ahakoa he momo autō hurihuri, he momo ngongo hurihuri ranei he putunga putunga porotakaroa, ko nga waahanga katoa o te mata o te ngongo whainga ka haere tonu i roto i te waahi pupuhi i hangaia i mua o te aukume pumau kia whiwhi i te cathode sputtering, me te ka taea te tuhi i te whainga kia rite tonu te tarai, a he tiketike te reeti whakamahi i te whaainga.Ko te tere o te whakamahi i nga rauemi e pa ana ki te 80% ~ 90%.
2) E kore e ngawari nga whaainga porotakaro ki te whakaputa i te "paihana whainga".I roto i te tukanga paninga, ko te mata o te ngongo whainga ka pupuhi tonu me te taraihia e nga katote, a ehara i te mea ngawari ki te whakaemi i nga waikura matotoru me etahi atu kiriata whakamaarama i runga i te mata, a ehara i te mea ngawari ki te whakaputa i te "poisoning target".
3) Ko te hanganga o te momo ngongo ngongo hurihuri momo porotakaroa sputtering target he ngawari me te ngawari ki te whakauru.
4) He momo momo momo ngongo whainga porotakaroa.ūnga mahere ki te taumata whakarewa te meangiti wai tika, me etahi e kore e taea te tukatuka me te hanga i ngā taumata porotakaroa, pērā i In2-SnO2 ūnga, me ētahi atu ki te rauemi paura mo te wera isostatic pēhi ki te whiwhi i ngā taumata pereti-rite, no te mea e kore e taea te hanga i te rahi. nui, me te pakarukaru, no reira he mea tika ki te whakamahi i te tikanga brazing me te papamuri parahi ki te whakauru me te whakauru ki runga i te turanga whaainga.I tua atu i nga putorino whakarewa, ka taea hoki te rehu i nga taumata poupou ki runga i te mata o nga paipa kowiri tira me nga momo taonga e tika ana kia pania, penei i te Si, Cr, etc.
I tenei wa, kei te piki haere te waahanga o nga whaainga porotakaro mo te paninga i roto i nga mahi ahumahi.Ko nga whaainga porotakaro e kore e whakamahia anake mo te miihini whakakikorua poutū engari ka whakamahia ano hoki i roto i te pukapuka ki te huri miihini whakakikorua.I nga tau kua pahure ake nei, ka whakakapihia nga whaainga mahanga mahere e nga whaainga mahanga Cylindrical.
——I tukuna tenei tuhinga e Guangdong Zhenhua Technology, akaihanga o mihini whakakikorua whatu.
Te wa tuku: Mei-11-2023