Ko nga ahuatanga o nga kiriata paninga pupuhi

① He pai te whakahaere me te tukurua o te matotoru kiriata

Mena ka taea te whakahaere i te matotoru o te kiriata ki te uara kua whakaritea ka kiia ko te mana o te matotoru kiriata.Ko te matotoru kiriata e hiahiatia ana ka taea te tukurua mo te maha o nga wa, e kiia nei ko te film thickness repeatability.Na te mea ka taea te whakahaere motuhake i te rerenga o naianei me te whaainga o te paninga pupuhi korehau.Na reira, ko te matotoru o te kiriata sputtered ka taea te whakahaere, a ko te kiriata me te matotoru kua whakaritea ka taea te whakatakoto pono.I tua atu, ka taea e te paninga sputter te tiki kiriata me te matotoru rite i runga i te mata nui.

② He kaha te piri ki waenga i te kiriata me te tïpako

Ko te kaha o nga ngota karekau he 1-2 ota teitei ake i tera o nga ngota ngota.He teitei ake te hurihanga o nga ngota ngota karekau kaha-nui ka tuu ki runga i te tïpako i tera o nga ngota kua ngotea, ka nui ake te wera me te whakanui ake i te piri i waenga i nga ngota kua pakaru me te taputapu.I tua atu, ko etahi o nga ngota pupuhi kaha nui ka whakaputa i nga nekehanga rereke o te werohanga, ka hanga he paparanga pseudodiffusion i runga i te tïpako.I tua atu, ka horoi tonu, ka whakahohehia te taputapu i roto i te rohe plasma i te wa o te tukanga hanga kiriata, e tango ana i nga ngota pupuhi me te ngoikore ngoikore, me te pure me te whakahohe i te mata o te taputapu.Na reira, he kaha te piri o te kiriata sputtered ki te tïpako.

③ Ka taea te whakarite kiriata hou rereke mai i te whaainga

Mena ka whakauruhia te hau hohenga i te wa e pupuhi ana kia tauhohe ki te whaainga, ka taea te tiki he kiriata hou rereke mai i te whaainga.Hei tauira, ka whakamahia te silicon hei punga, ka whakauruhia te hāora me te argon ki roto i te ruma korehau.I muri i te pupuhi, ka taea te tiki SiOz kiriweti kiriata.Ma te whakamahi i te titanium hei whaainga pupuhi, ko te hauota me te argon ka whakauruhia ki roto i te ruma korehau, a ka taea te tiki i te wahanga TiN-rite kiriata koura i muri i te pupuhi.

④ Te parakore me te kounga pai o te kiriata

I te mea karekau he waahanga whakaraerae i roto i te taputapu whakarite kiriata pupuhi, karekau nga waahanga o te taputapu whakamahana whakamahana e uru ki roto i te paparanga kiriata pupuhi.Ko nga ngoikoretanga o te paninga sputtering ko te tere o te hanga kiriata he puhoi ake i tera o te paninga whakaetonga, he teitei ake te pāmahana o te tïpako, he ngawari ki te pangia e te hau poke, a he uaua ake te hanganga o te taputapu.

I whakaputaina tenei tuhinga e Guangdong Zhenhua, he kaihanga otaputapu whakakikorua korehau