Ko te pewa waea wera i whakarei ake i te hangarau whakahekenga matū matū matū ka whakamahia te pu waea wera ki te whakaputa i te plasma arc, whakapotohia ko te hangarau waea wera arc PECVD.Ko tenei hangarau he rite ki te waea wera arc pu katote hangarau paninga, engari ko te rereke ko te kiriata totoka i whiwhihia e te waea wera arc pu katote paninga ka whakamahia te rere irahiko marama arc i tukuna e te waea wera arc pu ki te wera me te whakaeto i te whakarewa i roto. ko te parapara, i te wa e whangaia ana te waea wera arc light PECVD ki nga hau tauhohenga, penei i te CH4 me te H2, e whakamahia ana mo te whakatakoto kiriata taimana.Ma te ti'aturi i runga i te katote teitei o te rere arc e tukuna ana e te pu waea wera, e hikaka ana nga katote hau reactive ki te whiwhi momo matūriki hohe, tae atu ki nga katote hau, ngota ngota, nga roopu hohe, me era atu.
I roto i te taputapu PECVD arc waea wera, e rua nga coils electromagnetic e mau tonu ana ki waho o te ruuma paninga, ka huri te rere irahiko teitei kia huri i te wa o te nekehanga ki te anode, ka piki ake te tupono o te tukinga me te katote i waenga i te rere irahiko me te hau tauhohenga. .Ka taea hoki e te coil electromagnetic te huri ki roto i te pou pewa ki te whakanui ake i te kiato plasma o te ruuma tuunga katoa.I roto i te arc plasma, he tiketike te kiato o enei matūriki hohe, he maamaa ake te whakatakoto i nga kiriata taimana me etahi atu paparanga kiriata ki runga i te taputapu mahi.
——I tukuna tenei tuhinga e Guangdong Zhenhua Technology, akaihanga o mihini whakakikorua whatu.
Wā tuku: Mei-05-2023