1. Hangarau CVD wera
Ko nga paninga pakeke ko te nuinga o nga paninga uku whakarewa (TiN, me etahi atu), he mea hanga na te tauhohenga o te whakarewa i roto i te paninga me te whakaahuru reactive.I te tuatahi, i whakamahia te hangarau CVD waiariki ki te whakarato i te kaha whakahohe o te tauhohenga huinga ma te hiko waiariki i te pāmahana teitei o te 1000 ℃.He pai noa tenei pāmahana mo te whakatakoto i te TiN me etahi atu paninga maro ki runga i nga taputapu carbide cimented.I tenei wa, he hangarau nui tonu te whakatakoto i nga paninga hiato TiN-Al20 ki runga i nga upoko taputapu carbide cimented.
2. Te paninga katote cathode hollow me te paninga katote arc waea wera
I te tekau tau atu i 1980, ka whakamahia te paninga katote katote hollow me te paninga katote arc waea wera hei putunga taputapu tapahi pani.Ko enei hangarau whakakikorua katote e rua ko nga hangarau whakakikorua katote arc, me te reeti katote whakarewa ki te 20% ~ 40%.
3. Te paninga katote arc Cathode
Ko te putanga o te paninga katote arc cathodic i ahu mai i te whanaketanga o te hangarau o te whakatakoto i nga paninga pakeke ki runga i nga pokepokea ai.Ko te 60% ~ 90% te tere o te katote o te katote arc arc katote, ka taea te nui o nga katote whakarewa me nga katote hau tauhohenga kia tae ki te mata o te mea mahi me te pupuri tonu i nga mahi nui, ka puta mai te tauhohenga me te hanga o nga paninga pakeke penei i TiN.I tenei wa, ka whakamahia te hangarau whakakikorua katote arc cathodic ki te whakatakoto i nga paninga pakeke ki runga i nga pokepokea ai.
Ko te puna arc cathode he puna whakaetonga toka me te kore he puna rewa whakarewa, a ka taea te whakanoho i te turanga o te pewa, te whakapai ake i te reiti whakamahi waahi o te ruuma paninga me te whakanui ake i te kaha o te uta o te oumu.Ko nga ahua o nga puna pewa cathode ko nga puna pewa cathode porohita iti, nga puna pewa poupou, me nga puna pewa papatahi tapawha.Ko nga waahanga rereke o nga puna pewa iti, nga puna arc poupou, me nga puna arc nui ka taea te whakarite motuhake hei whakatakoto i nga kiriata paparanga-maha me nga kiriata nano multilayer.I tenei wa, na te nui o te katote whakarewa o te katote arc cathodic paninga, ka taea e nga katote konganuku te whakauru atu i nga hau hohenga, ka puta te whanui o nga mahi me te mahi ngawari ki te whiwhi i nga paninga pakeke pai.Heoi ano, he rūrūtia taratara kei roto i te hanganga moroiti o te paparanga paninga ka whiwhi i te paninga katote arc cathodic.I nga tau kua pahure ake nei, he maha nga hangarau hou kua puta ki te whakamahine i te hanganga o te paparanga kiriata, i pai ake ai te kounga o te kiriata arc ion coating.
——I tukuna tenei tuhinga e Guangdong Zhenhua Technology, akaihanga o mihini whakakikorua whatu.
Te wa tuku: Apr-28-2023