Te Rere Tukatuka o te Miihini Whakakikorua Sputtering

1. Tïpako horoi Poma

1.1) Ka whakamahia e te mihini whakakikorua te whakakikorua i te mura ki te horoi i te tïpako.Arā, utuhia te hau argon ki roto i te ruuma, ka huri te ngaohiko tuku ki te 1000V, I muri i te hurihanga o te hiko, ka puta mai he whiti, ka horoia te tïpako e te pupuhi katote argon.

1.2) I roto i nga miihini whakakikorua i roto i nga miihini e whakaputa ana i nga whakapaipai teitei, ko nga katote Titanium e tukuna ana e nga puna arc iti ka whakamahia mo te horoi.Ko te miihini whakakikorua i roto i te miihini whakakikorua ka whakamahia ki te puna arc iti, ka whakamahia te awa katote titanium i roto i te plasma arc i hangaia e te iti o te rerenga puna arc ka whakamahia ki te pupuhi me te horoi i te taputapu.

2. Titanium nitride paninga

I te wa e whakatakoto ana i nga kiriata kikokore titanium nitride, ko te mea e whaaia ana mo te pupuhi ko te titanium target.Kei te hono te rauemi ūnga ki te electrode kino o te supply mana sputtering, me te ngaohiko ūnga ko 400 ~ 500V;Kua whakaritea te rere o te argon, a ko te korehau mana (3~8) x10^-1PA.Kei te hono te tïpako ki te electrode kino o te toha hiko rītaha, me te ngaohiko o 100~200V.

Whai muri i te whakahuringa o te hiko o te whainga titanium sputtering, ka puta mai he rerenga mura, ka pupuhi nga katote argon kaha-kaha ki te whainga pupuhi, ka pupuhi nga ngota titanium mai i te whaainga.

Ka whakaurua te hauota hau tauhohenga, ka katote nga ngota titanium me te hauota ki nga katote titanium me nga katote hauota i roto i te ruma pani.I raro i te attraction o te mara hiko rītaha kino tono ki te tïpako, katote Titanium me katote hauota whakatere ki te mata o te tïpako mo te tauhohenga matū me te waipara ki te hanga i te paparanga kiriata titanium nitride.

3. Tangohia te tïpako

Ka tae ki te matotoru o te kiriata kua whakaritea, whakawetohia te hiko hiko, te hiko rītaha tïpako, me te puna hau.I muri i te iti iho o te pāmahana o te tïpako i te 120 ℃, whakakiia te ruma pani ki te hau ka tango i te tïpako.

I whakaputaina tenei tuhinga emagnetron sputtering mīhini whakakikorua kaihanga– Guangdong Zhenhua.